电子行业(半导体行业中)worline到底是什么意思?具体的是什么样的期间或者是一个什么样的概念?

电子行业(半导体行业中)worline到底是什么意思?具体的是什么样的期间或者是一个什么样的概念?,第1张

worline应该是wordline(WL)吧,汉语称作字线,对应的还有bitline(BL)位线。主要是在存储芯片中用到的,比如SRAM DRAM FLASH等。wordline是将一定数量(2的n次方)的存储单元的控制端连接起来。当wordline上为Hi时,存储单元打开,此时BL上就可以读或者写数据到存储单元了。

前道主要是光刻、刻蚀机、清洗机、离子注入、化学机械平坦等。后道主要有打线、Bonder、FCB、BGA植球、检查、测试等。又分为湿制程和干制程。

湿制程主要是由液体参与的流程,如清洗、电镀等。干制程则与之相反,是没有液体的流程。其实半导体制程大部分是干制程。由于对Low-K材料的要求不断提高,仅仅进行单工程开发评估是不够的。为了达到总体最优化,还需要进行综合评估,以解决多步骤的问题。

扩展资料:

这部分工艺流程是为了在 Si 衬底上实现N型和P型场效应晶体管,与之相对应的是后道(back end of line,BEOL)工艺,后道实际上就是建立若干层的导电金属线,不同层金属线之间由柱状金属相连。

新的集成技术在晶圆衬底上也添加了很多新型功能材料,例如:后道(BEOL)的低介电常数(εr <2.4)绝缘材料,它是多孔的能有效降低后道金属线之间的电容。

参考资料来源:百度百科-后道工序

参考资料来源:百度百科-半导体

参考资料来源:百度百科-前道工艺


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