是不是半导体必须要用密封圈？

半导体设备，半导体材料以及IC封测产业包括晶圆制造，晶圆传输，蚀刻，CMP，CVD等相关设备工艺需要使用超高纯，低污染，低渗透，耐腐蚀，耐化学介质，耐等离子特性及压缩变形冷流功能优异的密封元件。包括FFKM全氟橡胶，FEP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各种半导体产业密封元件。其中典型应用包括阀门O型圈，门密封，腔密封以及橡胶金属腔体硫化连接。

FKM密封材质大家都知道是指氟橡胶，那么FFKM又是指什么呢，多了一个F是有什么含义吗？东晟密封件公司告诉您FFKM也就是全氟醚橡胶，也就是使用全氟密封橡胶材质制造的密封圈产品或橡胶品的主要材料。它是一种无论是材料应用还是价格方面都比普通FKM氟橡胶要高很多的密封材料，可以说不是一个级别的产品质地，全氟橡胶密封圈的材质耐高温环境和耐腐蚀场合（可耐1600多种化学腐蚀）是非常的优秀。

FFKM全氟醚橡胶密封圈材质是由TFE（主链）、PMVE（支链）及架桥部所构成，它不仅具有像PTFE一样优异耐高温，耐化学腐蚀的性能，还兼备了橡胶的d性，普通全氟橡胶密封圈工作温度范围为-25℃~+240℃间。

FFKM全氟醚橡胶密封圈材料在300℃时的压缩变形率也仅在50%以下。耐高温较高可达327℃，即使当暴露在316℃的恒温中或像343℃这样的间歇高温环境中，也不会发生导致密封失效的硬化和脆化，在与侵蚀性流体的浸渍直接接触中依然能保持其d力和回d性能。

事实应用领域，全氟橡胶密封圈还具有优异的气密性和高洁净性以及耐离子体性，这些特点在半导体行业的应用也非常广泛。

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