半导体中cvd pvdALD什么

半导体中cvd pvdALD什么,第1张

cvd:Chemical Vapor Deposition 化学气相沉积,众多薄膜沉积技术中的一种。pvd:(Vapor ),指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。ALD:原子层沉积。拓展由于低温沉积、薄膜纯度以及绝佳覆盖率等固有优点,ALD(原子层淀积)技术早从21世纪初即开始应用于半导体加工制造。DRAM电容的高k介电质沉积率先采用此技术,但近来ALD在其它半导体工艺领域也已发展出愈来愈广泛的应用。

半导体产业链:

最前段:

Design House:根据市场应用,开发自己的芯片产品。主要是运用设计软件,将芯片功能定义好。

IP Vendor:为Design House提供一些免费或付费IP(指那些预先设计好的可以复用的电路模块)

前段(也是大连Intel扮演的角色):

Fab:将Design House的设计导入工厂加工(对晶圆wafer加工,每片Wafer上有成百上千个有效单元)。

包括Mask制作(有些工厂外包给Mask House);晶圆加工(包括黄光区,薄膜区,蚀刻区,扩散区);晶圆可接受度检查(WAT Test)后出厂

后端:封装测试厂

将晶圆Wafer上的有效单元切割封装检验后出厂(芯片成品)


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原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/8608513.html

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