半导体后固化烤箱需要通氮气吗

半导体后固化烤箱需要通氮气吗,第1张

需要。

通入氮气能把烘箱内空气赶出,这样就可以在无氧条件下进行干燥、固化、除湿等,避免空气中的氧气破会产品,影响半导体品质。

可用鼓风式充氮气,一般需要箱体满焊确保氮气损耗快,在烘箱上配一个氮气快插接口,用于快速连接氮气管路,如果避免氮气快插接口有漏气问题,氮气快插接口外径8,氮气入口处有蓝色密胶圈,管子插进去后把密胶圈往外拉一下确保密封

全氟橡胶密封件能抵抗包括有机酸、无机酸、碱、酮类、酯类、醛类、醇类和强氧化剂在内的1600多种化学品的腐蚀,最高使用温度达316℃,可向用户供应O形圈、V形圈垫片、隔膜等多种形状的产品,其长期可靠的优异密封性能,能够减少设备维修次数并提高其安全性,因此广泛应用于航天航空、化工、油田、半导体制造、制药等行业,性能与美国杜邦公司生产的Kalrez密封件相当,完全可以替代进口密封件,在价格及交付周期、售后服务相比外商有明显的优势。

应用领域:

·油田: 能耐油井酸气(H2S、CO2、CH4混合气体)、钻探泥浆、胺基类化合物等多种高浓度强腐蚀性介质。

·半导体制造: 在湿法干法工艺,如金属化,化学气相沉积(CVD),刻蚀,分离,清洗,等离子植入,快速热处理,为各种腐蚀性环境提供最可靠的密封解决方案。

·化工:能抵抗包括有机酸、无机酸、碱、酮类、酯类、醛类、醚类、醇类在内的1600多种化学品的腐蚀,广泛用于机械密封、管、泵、阀门、仪器、仪表、流体控制设备、连接器、搅拌器、反应器的密封元件。

·航天航空:应用于液体火箭氧化剂N2O4,飞机发动机、起落装置、控制和燃料系统的航空液压油、喷气燃料、高温润滑油的密封。


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