半导体激光退火原理漏氧气会怎么样

半导体激光退火原理漏氧气会怎么样,第1张

半导体激光退火原理漏氧气会形小,升华或分解发生。根据查询相关信息得知,是氧元素形成的一种单质,化学式O,化学性质比较活泼,与大部分的元素能与氧气反应。常温下是很活泼,与许多物质不易作用。高温下很活泼,能与多种元素直接化合,氧原子的电负性仅次于氟有关。

用激光束照射半导体表面,在照射区内产生极高的温度,使晶体的损伤得到修复,并消除位错的方法。它能有效地消除离子注入所产生的晶格缺陷,同时由于加热时间极短(约为普通热退火的百万分之一),可避免破坏集成电路的浅结电导率和其它结特性。


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