EDS、EDX和EDXRF有什么区别

一、EDS是利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析，EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，这两者的结构完全不同。

EDS能量色散谱仪，按能量展谱，主要器件为Li-Si半导体探测器.主要利用X光量子的能量不同来进行元素分析。

EDX：Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer 能量色散X射线光谱仪。

两者联系：都是一种测试仪器。

二、ED-XRF是EDX的一种，ED-XRF即能量色散型X射线荧光光谱仪。

X射线荧光光谱仪是基于偏振能量色散X荧光光谱仪（ED－XRF）的分析方法。X射线管或放射性同位素源中发出的X射线激发固体、液体、粉末样品中的原子。

扩展资料：

EDS英文全称：Energy Dispersive Spectroscopy

原理：利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。

与WDS（波谱仪）相比，EDS（能谱仪）具有以下优缺点：

优点:

（1）能谱仪探测X射线的效率高。

（2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。

（3）结构简单，稳定性和重现性都很好。

（4）不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。

缺点：

（1）分辨率低.

（2）能谱仪只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。

（3）能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。

参考资料：百度百科：EDS 百度百科：EDX 百度百科：XRF

EDS使用半导体晶体接收所有x射线信号，信号接收效率高，当前SDD晶体探测效率可达到100万cps。由于同一特征能量x光子，轰击探测晶体，实现的电子空穴对呈现统计的离散事件，以特征能量为中心的高斯分布半高宽较宽，也就是能量分辨率较差，理论上能谱的能量分辨率为120ev，当前10mm²探测晶体商品指标实际在125ev左右，大多标定在130ev左右。由于谱峰较宽，峰背比较差，只有含量高于千分之一的成分才会被探测到，加之各种线系重叠峰严重，所需的剥离重叠峰程序复杂，定量水平较差，标准情况下，定量精度2%左右。

EDS同一个晶体可接收从4Be-100Fm所有元素的特征x射线，可对所有元素同时展谱，由于探测器效率非常高，定性定量分析速度非常快，最快几秒定性，一般1-3分钟可打出从B-U范围内所有元素数据，是当前材料微区分析最基本的手段，广泛使用。价格相对WDS便宜一半。

WDS探测器对进入的X射线，首先使用分光晶体，通过机械转动，按照布拉格衍射条件，搜索到元素特征能量X射线，其他不符合衍射条件的X射线被屏蔽，特征能量为中心的高斯分布半高宽很窄，能量分辨率很高10ev以下，和理想的特征x射线分辨率非常接近，几乎可以区分所有线系的特征能量，重叠峰造成的定量影响降到最低，在相同计数率情况下，相对EDS，峰背比很高，可实现万分之一含量元素定性，定量精度要可达0.5%左右。因为是逐个元素进行展谱，分析时间很长，一个样品分析需要半小时，甚至几个小时。元素分析范围B-U.  由于WDS接近化学定量精度水平，因此在微区化学分析中，整个系统常常以电子探针商品出现，扫描电镜配置WDS很少用，电子探针往往配置4个波谱探测器同时进行信号采集，以提高定分析速度。即便如此，定性速度还是远远落后于EDS, 一般都配套EDS，用于定性，然后直接用WDS定量， EDS和WDS成为一个有机整体使用也很普遍。WDS结构复杂，定量精密度高，价格很贵。

如图，是EDS和WDS谱图，很形象的看出差异。

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