激光蚀刻原理

激光刻蚀技术原理激光刻蚀的基本原理是将高光束质量的小功率激光束（一般为紫外激光、光纤激光）聚焦成极小光斑，在焦点处形成很高的功率密度，使材料在瞬间汽化蒸发，形成孔、逢、槽。其加工工艺包括激光微纳切割、划片、刻蚀、钻孔等。激光刻蚀技术特点激光刻蚀的特点是利用激光具有的无接触加工、柔性化程度高、加工速度快、无噪声、热影响区小、可聚焦到激光波长级的极小光斑等优越的加工性能，获得良好的钻孔、划片、刻蚀和切割尺寸精度和加工质量，尤其是与某些材料（如聚酰亚胺）相互作用是属于“光化学作用”的“冷加工”，可获得无碳化效果，在电子半导体材料加工中应用十分广泛。元禄光电激光刻蚀参数表紫外激光刻蚀技术典型应用1）薄膜激光刻蚀应用优点：高重复率，高功率快速材料去除率无化学腐蚀对环境的污染ITO镀膜激光刻蚀机是由激光对ITO Glass和ITO Film上的ITO镀膜实施电极刻蚀加工的精密设备。可在玻璃、PET基底上ITO镀膜、多晶膜和其他氧化物薄膜上大范围内进行各种图案，各种尺寸的精密、高速刻蚀，加工多种电极。尤其适用于手机触摸屏的电极刻蚀。ITO玻璃激光刻蚀2)太阳能电池激光划片应用优点：整机结构合理、划片速度快、精度高、功能全、合项性能指标稳定可靠，故障率低非接触加工加工成品率高，适用面广 *** 作简单方便，能24小时长期连续工作，节能环保采用图形化用户界面（GUI），友好的人机界面，可实时显示切割轨迹， *** 作简单直观可选配图像自动识别处理和定位功能太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。薄膜太阳能电池生产的流程：准备基板（TCO导电玻璃）——玻璃磨边——玻璃清洗——1064激光划线——二次清洗——装夹具升温预热——PECVD沉积非晶硅膜——冷却卸夹具——635激光划线——PVD磁控溅射AL——635激光划线——测试——老化——激光清边——三次清洗——焊电极线——层压——装边框。对薄膜太阳能电池进行激光划片，热影响区小，划线质量优越。无接触式加工避免刀片加工产生的应力，可以有效提高硅片改片的优等品率，同时对电池片划线质量也有很大的改善。可选配CCD图像处理系统，实现特殊规格电池片的精密划线。

激光烙印，就像用烙铁烧，比较早的时候对于大批量的电子元件用一个刻出标记内容模板，用大尺寸激光照射模板，通过聚焦镜后印在原件上。这个速度太快了，但是需要激光功率很大，利用率太低。

激光蚀刻，一般是指精密激光划线，半导体行业这么称呼的。

激光雕刻，就很泛，基本就是利用聚焦激光直接刻出需要的文字、图像，有CO2、光纤、半导体、绿光等等。

产品标记文字，一般是激光打标，属于激光雕刻。可以参考

http://fermilaser.com/index.html

---