在P型半导体和N型半导体结合后,由于N型区内自由电子为多子空穴几乎为零称为少子,而P型区内空穴为多子自由电子为少子,在它们的交界处就出现了电子和空穴的浓度差。
由于自由电子和空穴浓度差的原因,有一些电子从N型区向P型区扩散,也有一些空穴要从P型区向N型区扩散。它们扩散的结果就使P区一边失去空穴,留下了带负电的杂质离子,N区一边失去电子,留下了带正电的杂质离子。
开路中半导体中的离子不能任意移动,因此不参与导电。这些不能移动的带电粒子在P和N区交界面附近,形成了一个空间电荷区,空间电荷区的薄厚和掺杂物浓度有关。
扩展资料:
在极低温度下,半导体的价带是满带,受到热激发后,价带中的部分电子会越过禁带进入能量较高的空带,空带中存在电子后成为导带,价带中缺少一个电子后形成一个带正电的空位。
在一定温度下,电子- 空穴对的产生和复合同时存在并达到动态平衡,此时半导体具有一定的载流子密度,从而具有一定的电阻率。温度升高时,将产生更多的电子- 空穴对,载流子密度增加,电阻率减小。无晶格缺陷的纯净半导体的电阻率较大,实际应用不多。
温度一定,本征半导体中载流子的浓度是一定的,并且自由电子与空穴的浓度相等。当温度升高时,热运动加剧,挣脱共价键束缚的自由电子增多,空穴也随之增多(即载流子的浓度升高),导电性能增强;当温度降低,则载流子的浓度降低,导电性能变差。
参考资料来源:百度百科--半导体
决定半导体材料的基本物理特性,即原子或离子的长程有序的周期性排列。按空间点阵学说,晶体的内在结构可概括为一些相同点在空间有规则地作周期性的无限分布。点子的总体称为点阵,通过点阵的结点可作许多平行的直线组和平行的晶面组。这样,点阵就成网格,称为晶格。由于晶格的周期性,可取一个以格点为顶点、边长等于该方向上的周期的六面体作为重复单元,来概括晶格的特征。固体物理学取最小的重复单元,格点只在顶角上。这样的重复单元只反映晶体结构的周期性,称为原胞。结晶学取较大的重复单元,格点不仅在顶角上,还可在体心和面心上,这样的重复单元既反映晶格的周期性,也反映了晶体的对称性。常见的半导体的晶体结构有金刚石型、闪锌矿型、纤锌矿型和氯化钠型4种,如图和表所示。在三元化合物半导体中有部分呈黄铜矿型结构,金刚石型、闪锌矿型和氯化钠型结构可看成是由两套面心立方格子套构而成。不同的是,金刚石型和闪锌矿型是两套格子沿体
对角线的1/4方向套构,而氯化钠型则是沿1/2[100]方向套构金刚石晶格中所有原子同种,而闪锌矿和氯化钠晶格中有两种原子闪锌矿型各晶面的原子排布总数目与金刚石型相同,但在同一晶面或同一晶向上,两种原子的排布却不相同。纤锌矿型属六方晶系,其中硫原子呈六方密堆集,而锌原子则占据四面体间隙的一半,与闪锌矿相似,它们的每一个原子场处于异种原子构成的正四面体中心。但闪锌矿结构中,次近邻异种原子层的原子位置彼此错开60°,而在纤锌矿型中,则是上下相对的。采取这种方式使次近邻异种原子的距离更近,会增强正负离子的相互吸引作用,因此,纤锌矿型多出现于两种原子间负电性差大、化学键中离子键成分高的二元化合物中。
离子注入是离子参杂的一种。随着VLSI器件的发展,到了70年代,器件尺寸不断减小,结深降到1um以下,扩散技术有些力不从心。在这种情况下,离子注入技术比较好的发挥其优势。目前,结深小于1um的平面工艺,基本都采用离子注入技术完成掺杂。离子注入技术已经成为VLSI生产中不可缺少的掺杂工艺。………离子注入具有如下的特点①可以在较低温度下(400℃)进行,避免高温处理。②通过控制注入时的电学条件(电流、电压)可以精确控制浓度和结深,更好的实现对杂质分布形状的控制。而且杂质浓度不受材料固溶度的限制。③可选出一种元素进行注入,避免混入其他杂质。④可以在较大面积上形成薄而均匀的掺杂层。同一晶片上杂质不均匀性优于1%,且横向掺杂比扩散小的多。⑤控制离子束的扫描区域,可实现选择注入并进而发展为一种无掩模掺杂技术。…………离子注入技术应用领域2.1 离子注入应用于金属材料改性离子注入应用于金属材料改性,是在经过热处理或表面镀膜工艺的金属材料上,注入一定剂量和能量的离子到金属材料表面,改变材料表层的化学成份、物理结构和相态,从而改变材料的力学性能、化学性能和物理性能。具体地说,离子注入能改变材料的声学、光学和超导性能,提高材料的工作硬度、耐磨损性、抗腐蚀性和抗氧化性,最终延长材料工作寿命。离子注入提高工模具的耐磨性能、金属样品的抗疲劳性以及金属表面耐腐蚀性2 离子注入机应用于掺杂工艺在半导体工艺技术中,离子注入具有高精度的剂量均匀性和重复性,可以获得理想的掺杂浓度和集成度,使电路的集成、速度、成品率和寿命大为提高,成本及功耗降低。这一点不同于化学气相淀积,化学气相淀积要想获得理想的参数,如膜厚和密度,需要调整设备设定参数,如温度和气流速率,是一个复杂过程。上个世纪70年代要处理简单一个的n型金属氧化物半导体可能只需6~8次注入,而现代嵌入记忆功能的CMOS集成电路可能需要注入达35次。技术应用需要剂量和能量跨越几个等级,多数注入情况为:每个盒子的边界接近,个别工艺因设计差异有所变化。随着能量降低,离子剂量通常也会下降。具备经济产出的最高离子注入剂量是1016/cm2,相当于20个原子层。3 在SOI技术中的应用由于SOI技术(Silicon-on-Insulation)在亚微米ULSI低压低功耗电路和抗辐照电路等方面日益成熟的应用,人们对SOI制备技术进行了广泛探索。1966年Watanabe和Tooi首先报道通过O+注入形成SILF表面的Si氧化物来进行器件间的绝缘隔离的可能性。1978年,NTT报道用这项技术研制出高速、低功耗的CMOS链振荡电路后,这种注O+技术成为众人注目的新技术。从而注氧隔离技术即SIMOX就成了众多SOI制备技术中最有前途的大规模集成电路生产技术。1983年NTT成功运用了SIMOX技术大批生产了COMSBSH集成电路;1986年NTT还研制了抗辐射器件。这一切,使得NTT联合EATON公司共同开发了强流氧离子注入机(束流达100mA),之后EATON公司生产了一系列NV-200超强流氧离子注入机,后来Ibis公司也研制了Ibis-1000超强流氧离子注入。从此SIMOX技术进入了大规模生产年代。到了上世纪90年代后期,人们在对SIMOX材料的广泛应用进行研究的同时,也发现了注氧形成的SOI材料存在一些难以克服的缺点,如硅岛、缺陷,顶部硅层和氧化层的厚度不均匀等,从而导致了人们开始着眼于注氢和硅片键合技术相结合的智能剥离技术即SMART CUT技术的研制,上世纪90年代末期,H+离子注入成了新的热门话题。目前虽无专门的H+离子注入机,但随着SMART CUT工艺日趋成熟,不久将会出现专门的H+离子注入机。除了半导体生产行业外,离子注入技术也广泛应用于金属、陶瓷、玻璃、复合物、聚合物、矿物以及植物种子改良上。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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