制造芯片薄膜的上市公司

制造芯片薄膜的上市公司半导体薄膜概念股有：立霸股份从近五年ROE来看，近五年ROE均值为14.03%，过去五年ROE最低为2017年的11.9%，最高为2019年的18.57%。公司作为有限合伙人的嘉兴君励投资于国内半导体设备企业沈阳拓荆。沈阳拓荆主要从事半导体薄膜设备的研发、生产和销售，主要产品包括8英寸和12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积）设备、ALD（原子层薄膜沉积）设备、3DNANDPECVD（三维结构闪存专用PECVD）设备等，产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等领域的生产制造。雅克科技：从近五年ROE来看，雅克科技近五年ROE均值为5.74%，过去五年ROE最低为2017年的2.25%，最高为2020年的9.07%。是半导体材料中的平台型企业，类似北方华创在设备中的地位。业务包括半导体化学材料，电子特气，光刻胶。产品覆盖半导体薄膜、光刻、沉积、刻蚀、清洗等核心环节。前驱体、SOD，打破海外垄断。2020年收购LG化学彩色光刻胶，获得了彩色光刻胶和TFT光刻胶等成熟技术和量产能力，有效弥补国内彩色光刻胶生产的空白。

2021年11月5日，拓荆科技股份有限公司科创板IPO已提交注册，上市时间还在等待中。

【拓展资料】

拓荆科技股份有限公司（以下简称“拓荆公司”或“公司”）成立于2010年4月，于2021年1月12日整体变更为股份有限公司。公司总部位于辽宁省沈阳市浑南区，并在北京、上海、海宁成立三家子公司。公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。公司多次承担国家重大科技专项，被中国半导体行业协会评为2016年度、2017年度、2019年度“中国半导体设备五强企业”。

公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，技术指标达到国际同类产品先进水平，产品主要应用于集成电路晶圆制造，以及TSV封装、光波导、Micro-LED、OLED显示等高端技术领域。目前，公司研发的PECVD、ALD及SACVD设备系列化产品已累计发货超150台，客户端总流片量突破1500万片。公司产品获得两届中国集成电路创新联盟的IC技术创新奖、辽宁省科技进步一等奖等荣誉。

公司现有十余名海外高层次专家，结合国内优秀人才，形成了一支国际化的专业团队，具备高科技研发实力及管理经验，截至2021年6月30日，公司员工总数超350人（含子公司）。通过多年技术积累，公司已形成自主知识产权体系，截至2021年6月30日，累计获授权专利超160项，被国家知识产权局评为“国家知识产权示范企业(2019-2022)”。

公司总部占地80亩、总建筑面积达40，000平方米，拥有现代化办公大楼及高等级洁净厂房、先进和完备的无尘实验室及系列高端薄膜实验设备，用以研制和生产科技领先的半导体薄膜设备。公司产业化基地第一期生产能力可实现年产100台套，全部投产可达350台套设备，可以满足下游客户增产需求。

公司拥有覆盖全球的供应商网络，并在北京、上海、武汉、合肥、天津、台湾等20多个地区的近40条生产线都设有技术服务中心，可为客户提供每周7天，每天24小时的技术服务。公司运营管理体系已通过ISO9001、ISO14001、ISO45001体系的认证。

公司愿与业界伙伴建立真诚、友好、共赢的产业合作联盟，共同为中国及世界半导体产业的发展做出贡献。

---