奇石乐针对半导体生产方面有哪些监测和特点?

奇石乐针对半导体生产方面有哪些监测和特点?,第1张

奇石乐测量技术能够提高生产力、减少废件产出、缩短机器停机时间,从而确保端到端的全面可追溯性和生产透明度。凭借奇石乐压电力传感器和相应的监控系统,生产商可在高度动态的生产过程中实现精准的监控,并可按自身需要对之进行控制;此外,奇石乐系统具有完整的文件记录功能,可妥善保存生产过程中的数据。凭借上述优势,在应用于半导体行业复杂的生产过程中时,奇石乐的解决方案能够为用户带来真正的附加价值。

封装之后的测试不熟,有FT、SLT等,具体不详,yield map一类,以前在fab的时候,看到的是结果,具体测法不详,说一下fab芯片制造完成之后的测试吧。

1,出厂必测的WAT,wafer acceptance test,主要是电性能测试,每一类晶体管的参数,电压电容电阻等,每一层金属的电阻,层间的电容等,12寸厂的晶圆抽测9颗样点,均匀分布在整个wafer上,答主熟悉的55nm技术,每一个样点上必测70~120个参数,整片wafer测完约需要10~15分钟,设备主要是安捷伦和东电的;

2,在晶圆制造过程中监测膜厚、线宽等,膜厚是13点,线宽是9点;

3,光学镜头芯片还会测试wafer的翘曲度、整体厚度值,要配合后端芯片的再制备;

4,在测试芯片(非生产性正常检测)的时候,还会测试NBTI、TDDB、GOV等;

5,其他根据芯片特性的测试。


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