半导体行业用的VDB是什么设备

半导体行业用的VDB是什么设备,第1张

VDB(Valve Distributing Box),VMB(Valve Manifold Box) 的总箱,主管路到FAB内先接VDB,再分到各各VMB内,也会有些厂叫做FDB(Flow Dispense Box),流量分配盒,一般都是用在流量需求特别大的气体供应上。你可以理解为空调系统里的分集水器,也就是由总站出来的流体分流输送的装置。大致的供气路劲可以是总站——VDB——VMB——VMP(分盘)——设备用气点。简略回答如上,谢谢。

HOOK-UP。

二次配英文简称HOOK-UP,就是将工艺设备同各种主管道连接起来。

二次配管涉及的系统多,而不同系统的介质不一样,对材料性能的要求也不一样,因而材料种类也很多。


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