半导体设备中Aligner和robot有国产的吗？各是几个自由度？

Aligner主要有3个和4个自由度的，X、Y、旋转三个自由度必须有，Z可以没有。主要工作对象是6、8、12英寸的Wafer预定位用。Robot相对复杂一些，只要是one hand和Dual hand(Arm)。非SCARA型是主流，用得多的意思，造价也低。基本是三个自由度，个别也有四个的。可以学习上海微松工业自动化的网站。

光电二级管，光敏电阻，光敏二级管，发光二级管等。符号为：若是感光元件，则在原器件中上部打两个向内的箭头，表示吸光的意思。若是发光元件，则在原器件中上部打两个向外的箭头，表示发光的意思。

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