半导体设备中Aligner和robot有国产的吗？各是几个自由度？

Aligner主要有3个和4个自由度的，X、Y、旋转三个自由度必须有，Z可以没有。主要工作对象是6、8、12英寸的Wafer预定位用。Robot相对复杂一些，只要是one hand和Dual hand(Arm)。非SCARA型是主流，用得多的意思，造价也低。基本是三个自由度，个别也有四个的。可以学习上海微松工业自动化的网站。

您好亲:玻妞、科沃斯、BOBOT、Windowmate以及国内品牌海尔，都是擦玻璃机器人中不错的品牌。

BOBOT

BOBOT创立于美国硅谷，是一家由工程师组成的新兴科技公司，其拥有完整的家庭服务机器人产品线。2016年，BOBOT发布高空作业机器人WIN系列，同年进入中国市场，在主流电商平台众筹突破500万。

BOBOT旗下擦窗机器人种类很少，目前只有WIN660这一款产品，官网售价为1980元。WIN660的清洁能力十分出色，具有的“N”、“Z”两种擦拭方式，可根据玻璃长宽尺寸比例自行规划路径。

Windowmate

韩国RF公司（Robot of the Future）成立于2014年，专业从事智能擦窗机器人和幕墙式窗清洗系统的开发，2015年RF公司开发出Windowmate擦窗机器人，一经推出，便获得不小轰动。

不同于一般的擦窗机器人，它并非采用常见的真空吸附原理，它的机身分为两部分，工作时分别置于玻璃内侧和外侧，并通过永磁铁牢固吸附，足以抵御强劲风力。这种设计不仅大大减少了工作时的噪音问题，还彻底解决了真空吸附容易掉落的问题。

Haier/海尔

国内知名家电品牌海尔家电产品种类丰富，其凭借强大的品牌实力，在智慧家电领域也占有一定的份额。海尔TAB-WT910W擦窗机器人是目前海尔生产的唯一一款擦窗机器人。

TAB-WT910W内置的陀螺仪装置是一种广泛应用于汽车、航空航天航海领域的器件，主要用以感测和维持方向，其底面2组红外传感器以及系统智能算法可准确记忆距离和位置信息，实现三种行走模式。

除此之外，它机身左右两侧各配有一组镭射感应器，能够智能感应超过几毫米的落差，达到高精度的防跌落作用。

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