什么是扩散炉？它有什么用处？

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂，但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应，生长一层二氧化硅膜。氧化方法有干氧氧化和水汽氧化（含氢氧合成）两种，扩散炉是用这两种氧化方法制备氧化层的必备设备。扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备，它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。

不锈钢加热管是通过强迫对流的方式对流体进行加热的。材质是不锈钢材质不即在加热器一头用泵把流体泵进加热腔，经加热后，在加热器另一头流出，是一种通过泵强制循环的一种加热方式，与传统的加热方式相比较，节能显著、工艺科学、安装使用方便、具有明显的经济效益。

产品特点:

1.体积小，功率大：该电加热器内部主要采用集束式管状加热元件，每一集束式管状电热元件最大功率达5000KW。

2.热响应快，控温精度高，综合热效率高。

3.应用范围宽，适应性强：该循环式加热器可适用于防爆或普通场合，它的防爆等级可达B 级和C 级,它的耐压可达20Mpa。并可根据用户需要筒体采用立式或卧式安装。

4.加热温度高：该加热器设计最高工作温度可达850℃,这是一般换热器所不能得到的。

5.全自动化控制：通过该加热器电路设计,可方便实现出口温度、压力、流量等参数自动控制,并可与计算机联网,实现人机对话。

6.寿命长，可靠性高：该加热器采用特殊电热材料制造，加上设计功率负荷均较合理，加热器采用多重保护，使得本加热器安全性和寿命大大增加。

7.不锈钢电热管是以金属管为外壳，沿管内中心轴向均布螺旋电热合金丝（镍铬、铁铬合金）其空隙填充压实具有良好绝缘导热性能的氧化镁砂，管口两端用硅胶或陶瓷密封，这种金属铠装电热元件可以加热空气，金属模具和各种液体。]在耐高温不锈钢无缝管内均匀地分布高温电阻丝，在空隙部分致密地填入导热性能和绝缘性能均良好的结晶氧化镁粉，这种结构不但先进，热效率高，而且发热均匀，当高温电阻丝中有电流通过时，产生的热通过结晶氧化镁粉向金属管表面扩散，再传递到被加热件或空气中去，达到加热的目的。

红外线加热器的节能原理

远红外线加热器

传热学基本理论：

1.不同特性的物体发射的红外线特性（波长）不同，不同特性的红外线易为特性相同的物体所接收--即固体物质发射的红外线易被固体吸收，不易被气体吸收。

2.热能传递的形式：幅射、传导、对流。

3.热能在高温下主要（90%）以幅射的形式传递，其幅射强度与温度的四次方成正比。

4.幅射热能的吸收能力与受热物体的表面黑度成正比。

5.受热物体的热能传导强度与（该物体表面和内部的）温度梯度成正比，与热阻成反比。

电热涂料的节能原理：

电热涂料固化后形成牢固涂层，该涂层因其表面黑度高，故能吸收大量的辐射热能，又因其发射率高故能将吸收的辐射热能转换成物体易吸收的远红外热能以电磁波的形式传递.微米级电热涂料的涂层厚、热阻大、反射率高，用于烘箱板表面，将散失的热能转换成远红外热能以电磁波的形式辐射烘箱内，为烘箱内的被加热物体，所吸收，而不易被潮气吸收，从而将热能留在烘箱内，不仅降低了排潮温度，而且使烘箱内的温度升高，使烘箱内的温度得到了充分的利用.纳米级电热涂料的涂层薄、热阻小，用于烘箱中受热导温的金属材料表面，在传热过程中，该涂料层不仅将吸收的辐射热能转换成远红外热能传递，其自身变成远红外辐射热源，而且也因其表面温度的提高，导致温度梯度增大，使被加热物体的热能传导强度增强，吸热能力大大提高.总之，通过电热涂料将幅射热能转换成远红外热能产生的直接作用是：提高了烘箱的温度，降低了排潮损失的温度，增强了被加热物体的热能吸收速度；减少了热能损失，达到节能的目的。

红外线的名词解释：

红外线是太阳光线中众多不可见光线中的一种，由英国科学家霍胥尔于1800年发现，又称为红外热辐射,他将太阳光用三棱镜分解开，在各种不同颜色的色带位置上放置了温度计，试图测量各种颜色的光的加热效应。结果发现，位于红光外侧的那支温度计升温最快。因此得到结论：太阳光谱中，红光的外侧必定存在看不见的光线，这就是红外线。也可以当作传输之媒界。 太阳光谱上红外线的波长大于可见光线，波长为0.75～1000μm。红外线可分为三部分，即近红外线，波长为0.75～1.50μm之间；中红外线，波长为1.50～6.0μm之间；远红外线，波长为6.0～l000μm 之间。

红外线的物理性质：

在光谱中波长自0.76至400微米的一段称为红外线，红外线是不可见光线。所有高于绝对零度（－273℃）的物质都可以产生红外线。现代物理学称之为热射线。医用红外线可分为两类：近红外线与远红外线。

近红外线或称短波红外线，波长0.76～1.5微米，穿入人体组织较深,约5～10毫米；远红外线或称长波红外线，波长1.5～400微米，多被表层皮肤吸收，穿透组织深度小于2毫米。

石英加热器

云母,石英加热器

技术特征：

1．耐温高。云母板可耐600℃高温。

2．绝缘性能好。绝缘电阻大于100MΩ。

3．重量轻，厚度薄。体积小，功率大。

4. 可根据需要方便、容易地设计成各种型状，成本低。

应用场合：　

1．广泛应用于家用电器中，如电饭煲、微波炉，电子消毒柜，电吹风、电熨斗等

2．普遍应用于各种机器设备上作加热部件，如过塑机、复印机、打印机、传真机等。

3. 各种工业和农业的加热场合，如模具加热，塑料机械，及其它取暖、干燥装置。

性能指标： 1. 绝缘电阻：≥100 MΩ。

2. 耐压：1500V/1min。

3．耐温：600℃。

4. 功率偏差范围：±5%。

技术参数：

序号 参数 选择范围 　

　1 电压 ≤380V

2 功率 100～1000W

3 工作温度 -20～600℃

4 型状尺寸 根据客户需求设计。

陶瓷电加热器

陶瓷电加热器是一种高效热分部均匀的加热器，热导性极佳的金属合金，确保热面温度均匀，消除了设备的热点及冷点。具有长寿命、保温性能好、机械性能强、耐腐蚀、抗磁场等优点。

一种是将合金丝穿绕于小陶瓷方块中，外部包以不锈钢外壳而成。广泛应用于塑料机械、化纤机械。

另一种是将合金丝浇铸在石英玻璃为原材料的半导体中。具有耐高温（可达1200度）、防腐、美观耐磨的特点。广泛应用于高温采暖炉、半导体工程、玻璃、陶瓷及电线工程中。 陶瓷电加热器有圈型和板状等规格，工作可靠寿命长、坚固耐用，节约能源，具有安装灵便、耐高温、传热快、绝缘良好、制作不受型号和规格大小的限制等优点。可根据用户需求的接线方式，电压从36V、110V、180V、220V、380V ,最高功率负载每平方6.5W ，与传统电热器相比较能量消耗可降低30%.。

工业烤箱是箱体加热，隧道炉是网带输送

流水线加热。工业烤箱适合小规模加工

隧道炉可连续生产，生产效率高，节省人

力，烘烤品质稳定。

它们的适用范国和用途都是一样的广泛适

用于：

电子业、半导体 ICM、

LCD. LED

PCB、PE、电解电容、橡塑料键盘、计算

机、IC、SMT、电机、通讯、电镀、塑

料、五金、化工、丝印、喷涂、玻璃、陶

、木器建材等的精密烘烤、烘干、回

火

、预热、定型、加工工艺等

采用智能型温度控制器，PID自动演算

LED显示，能精确控制温度之度；外部采

用钢板经防锈处理后高温烤漆，底座四周

钣金封板，内部采用SU$304#1.5t镜面不

锈钢板。温度均匀性好；耐高温硅胶迫

，美观无污染。所有的工业烤箱和隧道

炉都可按照客户需求非标定制回流炉工艺是通过重新熔化预先分配到印制板焊盘上的膏状软钎焊料，实现表面组装元器件焊端或引脚与印制板焊盘之间机械与电气连接的软钎焊。回流炉是SMT(表面贴装技术)最后一个关键工序，是一个实时过程控制，其过程变化比较复杂，涉及许多工艺参数，其中温度曲线的设置最为重要，直接决定回流焊接质量。

---