半导体工厂机加工和火加工是什么工作

半导体工厂机加工和火加工是什么工作,第1张

加工

火加工岗位一个重要的制造工序,根据半导行业的特殊要求石英制品的加工必须在达 到一定洁净要求的 室内进行加工作业。它采用焊q设备燃烧氢氧气产生高温火焰,对石英制品进行热 加工作业,大多数产 品都依靠手工作业完成。

半导体工厂机加工:

1.使用外延炉等设备,进行气体纯化、四氯化硅精馏,在单晶片上生长单晶层;

2.使用高温炉,在半导体晶体表面制备氧化层,使杂质由晶片表面向内部扩散或进行其他热处理;

3.使用离子注入设备,将掺杂材料的原子或分子电离加速到一定的能量注入到晶体,并退火激活;

4.使用气相淀积设备,在衬底表面淀积一层固态薄膜;

5.使用光刻机在半导体表面掩膜层上刻制图形;

6.使用机械加工等设备,对晶片加工形成器件台面,并对表面作钝化保护;

7.使用电镀设备,对晶片、半导体器件、集成电路、电级材料的某些部位进行镀覆。

电火花是微孔加工的重要组成部分,电火花微孔加工技术随着微机械、精密机械、光学仪器等领域的不断拓展而得到广泛的关注。电火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔径和深度由调节电参数就可得到控制等优势,使其在各国的研究日益活跃。但是电火花加工是一个典型的慢加工,在加工微孔时表现的尤为明显,时间随着加工精度的提高而减慢。对于少量的孔如:2个或5个左右,可以使用,主要是针对模具打孔等 *** 作,无法批量生产,费用高。

激光加工主要对应的是0.1mm以下的材料,电子工业中已经广泛地应用了激光加工技术。例如,精密电子部件、集成电路芯片引线以及多层电路板的焊接;混合集成电路中陶瓷基片或宝石基片上的钻孔、划线和切片;半导体加工工艺中激光走域加热和退火;激光刻蚀、掺杂和氧化;激光化学汽相沉积等。但是作为金属的微孔加工,激光存在的问题是会产生一些烧黑的现象,容易改变材料材质,以及残渣不易清理或无法清理的现象。不是完美的微孔加工解决方案。如果要求不高,可以试用,但是针对批量的订单,激光加工就无法满足客户的交期和成本的期望值。

线切割是采取线电极连续供丝的方式,即线电极在运动过程中完成加工,因此即使线电极发生损耗,也能连续地予以补充,故能提高零件加工精度。慢走丝线切割机所加工的工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.8μm及以上,且慢走丝线切割机的圆度误差、直线误差和尺寸误差都较快走丝线切割机好很多,所以在加工高精度零件时,慢走丝线切割机得到了广泛应用。但是对于微孔加工来讲,使用线切割工艺材料容易变形,如果批量生产的话线切割无法应对,并且价格昂贵,客户一般难以接收。

蚀刻也称光化学蚀刻,指通过曝光,显影后将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,使用两个阳性图形通过从两面的化学研磨达到溶解的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。蚀刻是很有针对性的,是指受控腐蚀,是金属通过化学方法进行一种可以控制的加工方法。随着电子科技的发展,越来越多需要许多集合形状复杂、精密度要求高而机械加工难以实现的超薄形工件。而化学蚀刻方法却易达到部件平整、无毛刺、图形复杂的要求,且加工周期短、成本低。它的化学原理是利用三氯化铁水溶液作为腐蚀剂与金属反应。


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