光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,在半导体上形成图型,为将图型复制於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像复制至相片上。
业内又称光掩模版、掩膜版,材质为石英玻璃、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来。
在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:曝光、显影、去感光胶,最后应用于光蚀刻。
光罩为什么这么贵?
随着半导体晶圆制程技术的飞速发展,半导体制造厂持续遵循摩尔定律,不断挑战更先进的制程。而谈到先进制程,很多芯片设计公司的第一反应都是光罩很贵。
动辄几十万到百万美金级别的光罩费用,是怎么来的,这样的费用合理吗? 在解答这个问题之前,我们来看看什么是光罩,以及光罩是怎么制作的。
半导体产业链:最前段:
Design House:根据市场应用,开发自己的芯片产品。主要是运用设计软件,将芯片功能定义好。
IP Vendor:为Design House提供一些免费或付费IP(指那些预先设计好的可以复用的电路模块)
前段(也是大连Intel扮演的角色):
Fab:将Design House的设计导入工厂加工(对晶圆wafer加工,每片Wafer上有成百上千个有效单元)。
包括Mask制作(有些工厂外包给Mask House);晶圆加工(包括黄光区,薄膜区,蚀刻区,扩散区);晶圆可接受度检查(WAT Test)后出厂
后端:封装测试厂
将晶圆Wafer上的有效单元切割封装检验后出厂(芯片成品)
OTP与掩膜mask的最大区别是:量大选掩膜,量小选OTP。OTP(One Time Programable)是MCU的一种存储器类型,意思是一次性可编程:程序烧入IC后,将不可再次更改和;因此OTP语音芯片就是指一次性烧录的语音IC。
从OTP定义上来看,及只能一次性烧录的语音芯片,同时大家都知道OTP没有最小数量的限制,只要客户提供声音,环芯OTP语音芯片IC公司把声音处理和编程后通过烧录工具烧入OTP芯片中.这种方式是最常见的OTP烧录方式,一般一次只能烧录1片或者5-10片,烧录工具不同决定的.烧录效率比较低下,人力成本高,同时只能对封装芯片进行烧录(裸片很小,是不能直接烧录的),这样成本上又多出了一个封装费用. 环 芯
而OTP裸片带烧则是OTP语音芯片。在IC制作过程中,就将处理好的声音和程序直接一次制作到IC里面(跟掩膜芯片流程相似,但是OTP客户交货时间一般只需10天,掩膜则要30天左右,因为OTP本来是一种改进过的掩膜芯片,存储ROM的性质不同),省去了人工烧录和一些其它环节,价格相对要低不少.
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