半导体废气处理?

半导体废气处理?,第1张

半导体废气处理

废气介绍:由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。

半导体废气治理办法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

希望此次回答对您有所帮助!

会的,因为里面含有大量的化学药剂,如果在里面待久了的话,会有各种疾病发生。

11月23日上午,在仲裁案落实协议签字仪式上,金奇南就半导体厂工人患白血病引发纠纷一事正式道歉。

三星电子23日就半导体厂工人患白血病引发纠纷一事道歉,并承诺赔偿。由此,三星电子和半导体厂工人健康与人权守护组织(简称“半导体厂工人组织”)间长达11年的纷争告终。

2007年,在三星电子半导体生产线工作的黄某因患急性白血病不幸身亡。此后,白血病等疾病是否与三星半导体工厂环境恶劣有关引发争议。

三星电子设备解决方案(DS)部门代表理事金奇南23日在首尔韩国新闻中心举行的仲裁案落实协议签字仪式上宣读道歉文,承认公司在管控半导体和LCD工厂环境风险方面存在疏忽,在处理相关问题时未能及时采取适当措施,并公布赔偿方案。

他表示,公司将根据调解委员会委员长提出的方案,争取到2028年完成赔付,并将出资500亿韩元(约合人民币3063万元)成立旨在预防重大工伤事故的基金。


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