半导体重要的两个指标是什么

半导体重要的两个指标是什么,第1张

半导体的重要指标有很多,其中最重要的两个指标是电阻和电容。电阻是指半导体材料的电阻率,它决定了半导体材料的电流导通能力,也就是半导体材料的电导性。电容是指半导体材料的电容率,它决定了半导体材料的电容量,也就是半导体材料的电容性。电阻和电容是半导体材料性能的重要指标,也是半导体材料的重要参数,它们可以帮助我们更好地理解半导体材料的特性,从而更好地应用半导体材料。

半导体电容一般是皮法(pF) 级或纳法(nF) 级。许多商用LCR 或电容表可以使用适当的测量技术测量这些值,包括补偿技术。但是,某些应用要求飞法(fF)或1e-15 级的非常灵敏的电容测量,包括测量金属到金属电容、晶圆上的互连电容、MEMS 器件如开关、或者纳米器件上端子间的电容。如果没有使用适当的仪器和测量技术,我们很难测量这些非常小的电容。

通过使用工具, 如选配CVU 电容电压单元的参数分析仪,用户可以测量各种电容,包括<1 pF 的超低电容值。CVU设计有独特的电路,通过软件进行控制,支持多种特性和诊断工具,确保最精确的测量结果。通过使用这个CVU 及适当的技术,用户可以实现超低电容测量,支持几十阿法(1e-18F) 的噪声。

本文介绍怎样使用4215-CVU 电容电压单元进行飞法电容测量,包括怎样进行正确的连接。如需了解怎样进行电容测量,包括线缆和连接、定时设置、保护和补偿,可以参阅应用指南进行最优电容和AC 阻抗测量或联系工程师。

连接器件正确连接被测器件(DUT) 对进行灵敏的低电容测量至关重要。为获得最好的测量结果,应只使用随机自带的红色SMA 电缆把CVU 连接到DUT。红色SMA 电缆的特性阻抗是100W。并联的两条100W 电缆的特性阻抗是50W,这是高频源测量应用的标准配置。随机自带的附件可以使用BNC 或SMA 连接连到测试夹具或探头。使用随机自带的扭矩扳手,紧固SMA 电缆连接,确保接触良好。

图1 显示2 线传感的CVU 配置。HCUR 和HPOT端子连接到BNC T 形装置连接, 构成CVH(HI);LCUR 和LPOT 连接在一起,构成CVL*LO)。

图2 是DUT 4 线传感实例。在本例中,HCUR 和HPOT 端子连接到器件的一端,LPOT 和LCUR 端子连接到器件的另一端。我们使用到器件的4 线连接,通过尽可能靠近器件测量电压,来简化灵敏的测量。

不管是2 线传感还是4 线传感,同轴电缆的外部屏蔽层必须尽可能近地连接到器件上,以使屏蔽层的环路面积达到最小。这降低了电感,有助于降低谐振效应,这种效应在1 MHz 以上的频率时可能会带来负担。所有电缆要固定好,避免移动,因为在执行偏置测量和实际DUT 测量之间发生的任何移动,都可能会略微改变环路电感,影响补偿的数据。在测量非常小的电容时,DUT 屏蔽变得非常重要,以降低由于干扰引起的测量不确定度。干扰源可以是AC 信号,甚至是物理移动。金属屏蔽层应封闭DUT,连接到同轴电缆的外壳上。对低电容测量,最好使用4 线传感,但如果电缆较短,并采用了补偿技术,使用2 线传感也能实现最优测量。

数字式万用表检测电容:

1、将电容两端短接,对电容进行放电,确保数字万用表的安全。

2、将功能旋转开关打至电容(C)测量档,并选择合适的量程。

3、将电容插入万用表C-X插孔,读出LCD显示屏上数字。

小知识:电容的单位:1F=1000mF=1000uF


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