对身体有害。
半导体产业属于重污染企业,工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟,这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。
由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,其中苯就是高毒性的一级致癌物。
半导体工厂对有害物质实施的措施
为了防止这些污染伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料。
尤其是快速发展的亚微米工艺对生产现场的空气洁净度要求特别高,所有半导体加工设备都必须放置在与灰尘隔离的封闭空间中,即为洁净室。
洁净室的洁净度有一个公认的标准,以10类为例,是指在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有10个粒径在0.5微米以上的粉尘,所以Class数越少,清洁度越好,当然成本也越贵。同时,也是洁净室设备厂商保证洁净空间安全、舒适、节能、高效。
半导体生产车间都是无尘室,这没什么好纠结的;
而且,很多生物、制药、食品工厂的车间,也是无尘室,只不过是净化等级不一样罢了。
无尘室本身对于人体来说,没有害处,只不过:
1、长期在无尘室这样相对恒温恒湿的空间内工作,会导致人体的免疫能力有所下降;
(就像那些整天吹空调的人,容易感冒一样,相信这个解释 你应该懂得)
2、另外,就是半导体生产车间里面的机器、产品、材料,有些存在对人体的危害:
(1)激光、辐射;
(2)化学品;
(3)有害气体。
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