半导体工艺废气如何处理?

半导体工艺废气如何处理?,第1张

√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。

希望此次回答对您有所帮助!

正常来说,纯水设备生锈是被侵蚀,水质偏向酸性,可是现在的设备很多出是不锈钢做的,不锈钢表面有一层匀称的氧化铬保护层厚度,可以抵御高水温和酸性水对不锈钢的侵蚀。换句话说,如果不锈刚表面生锈,说明不锈钢的膜已经失去了防护作用。所以,正常情况下,纯水设备都不会生锈。

但是呢,纯水设备在用使用的过程中,当时间长了,设备也会生锈。那么,该如何去避免纯水设备生锈呢?下面就由佳洁小编来为大家介绍如何避免设备生锈。

纯水设备

1、用维护膜或涂料按捺腐蚀时,维护膜有些决裂或涂料有些掉落,这些决裂或掉落的当地遭到腐蚀。

2、保证防腐涂料具有良好的附着力、柔韧性以及耐长期冲刷的性能。

3、保证防腐涂料在运输、安装及使用中有良好耐紫外线照射及防水防冻的性能.

4、设备,管道内外喷漆防腐,金属外表所触摸的水溶液中,氧的浓度不一样,构成氧的浓差电池,富氧有些为阴极,而缺氧有些则成阳极遭到腐蚀。

隆昌旺12kw智能型ptc半导体电锅炉调试方法如下:

1、进行补水作业,将管道中与水箱中注满水,之后再开启设备,以免造成干烧问题。

2、设定供暖的温度,将热水温度设定在30~40℃、40~50℃、60~70℃,分几天慢慢升温,避免直接过热而导致暖气片炸裂的问题。

3、供暖结束之后不用将水放出,每2、3年清理一次管道就可以了。


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