2 反应速度,陶瓷气体放电管最慢 玻璃放电管和半导体放电管速度差不多
3 电容, 陶瓷气体放电管级皮法 玻璃放电管0.8皮法 半导体放电管几十至百皮法 最大
4 击穿电压精准度, 陶瓷气体放电管最低 玻璃放电管较低 半导体放电管低
5 脉冲击穿电压, 陶瓷气体放电管最高 玻璃放电管最高 半导体放电管高
基本上就这几点,但是要根据用在不同产品的不同部位选型也是不一样的!
希望这是你想要的!
√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:
半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。
半导体有机废气处理办法
采用RTO设备处理
RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。
直接燃烧法处理
有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。
希望此次回答对您有所帮助!
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