高纯气体管道工程对于设计施工要求高吗?

高纯气体管道工程对于设计施工要求高吗?,第1张

高纯气体管道工程的设计施工要求非常高。这类管道主要用于半导体、光电、微电子、液晶显示等高科技产业的制造过程中,对气体纯度、流量、压力等指标要求非常严格,一旦管道存在泄漏或污染,就会对产品的质量和性能产生严重影响。因此,高纯气体管道工程的设计施工需要考虑诸多因素,包括管道材料的选择、连接方式、阀门和附件的选用、密封性能的要求、气体流动特性的分析等等。同时,为了确保管道的安全性和可靠性,设计施工必须符合相关标准和规范,并进行严格的检测和测试。

1 通流量,陶瓷气体放电管通流量几十至百千安培 玻璃放电管几百至几千安 半导体放电管几十至几百安,半导体放电管通流量最小 ,陶瓷放电管通流量最大

2 反应速度,陶瓷气体放电管最慢 玻璃放电管和半导体放电管速度差不多

3 电容, 陶瓷气体放电管级皮法 玻璃放电管0.8皮法 半导体放电管几十至百皮法 最大

4 击穿电压精准度, 陶瓷气体放电管最低 玻璃放电管较低 半导体放电管低

5 脉冲击穿电压, 陶瓷气体放电管最高 玻璃放电管最高 半导体放电管高

基本上就这几点,但是要根据用在不同产品的不同部位选型也是不一样的!

希望这是你想要的!

√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。

希望此次回答对您有所帮助!


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/8801915.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-21
下一篇 2023-04-21

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存