半导体材料经过超声波清洗后会影响自身电阻值吗？

又有一定影响，超声波后会在半导体表面形成一层薄薄的水层（如果你是用去离子水超声，如果是用酒精或者是丙酮的话也会有一层有机物的)这层水分子层不会很多也就几个原子的量级，但是用氮气或者氩气其表面的话仍然也会有一点影响，但是导致其电阻是否变大还是变小就不清楚了，这要看你半导体电阻的真实值和水层的电阻大小有关，如果你不想这层水层有影响的话，超声后最好放到真空烘箱里面烘一下，温度设定在50到60度。如果没有条件的话，建议多测几次求平均值。当然除了水的影响，可能还会跟半导体表面的微结构有关系，超声波是一种能量，这个能量有没有可能导致半导体表面微结构发生改变，这我也不知道。但是通常我们认为是没有关系的，如果在超声前和超声后的电阻变化不大，可以认为是没有影响的，但如果相差很大的话，你可以考虑是不是超声导致你的半导体结构发生改变了。

超声波清洗时，在超声波的作用下，机械振动传到清洗槽内的清洗液中，使清洗液体内交替出现疏密相间的振动，液体不断受到拉伸和压缩。疏的地方受到拉伸，形成微气泡(空穴)，密的地方受到压缩。由于清洗液内部受超声波的振动而频繁地拉伸和压缩，其结果使微气泡不断地产生和不断地破裂。微气泡破裂时，周围的清洗液以巨大的速度从各个方向伸向气泡的中心，产生水击。这和中现象可以通过肉眼直接观察到，即在清洗液中可以看到有剧烈活动的气泡，而且清洗浓夜上下对流。此时若将手指浸入清洗液中，则有强烈针刺的感觉，上述这种现象称为超声富空化作用。在超声空化作用一定时间后，被清洗件上的污垢逐渐脱落(当然也有清洗液本身的作用在内)。

--华杨沐林塑秋实，科卓海纳立顶峰

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