pcw是工艺冷却水系统。
工艺冷却水系统(PCW),亦称制程冷却水系统。主要用于冷却工艺设备,简单来说就是工艺设备的空调系统。
PCW系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统,冷冻水由冷冻机提供,冷冻水与冷却水进行热交换,使冷却水降温从而降低设备的温度。
从生产设备抽水经水泵至板式换热器通过控制冷冻水的量来保证PCW的水温,通过过滤器后送至生产线设备,再回到水泵。构成PCW闭式循环。冷冻水侧直接回冷冻机。
工艺冷却水系统的注意事项:
冷却水系统中一般包括水箱、循环水泵、精密过滤器、板式换热器、生产设备用水点、水泵变频电气控制、温度传感器、压差传感器、压力传感器、RO补水装置、背压阀、调压阀、阀件及不锈钢管道等。
PCW在半导体厂是个非常重要的系统,出现故障会影响车间内的大部分的生产设备而导致巨大损失,系统自动化程度高,对控制要求较高,主要包括水温、压力、水质以及水泵的控制。
需要保温。PCW(PROCESSCOOLINGWATER)就是工艺冷却水,主要供给生产设备作为冷却的。系统主要由板式换热器,水泵,过滤器PCW水箱等组成,分冷冻水侧和PCW水侧,PCW系统中冷冻水和冷却水是两个相对独立的系统,冷冻水由冷水机组提供,冷冻水与冷却水进行热交换,使冷却水降温从而降低设备的温度。从水箱抽水经水泵加后,经过滤器过滤后至板式换热器通过控制冷冻水的流量来保证PCW的出水温度,然后送至生产线设备,再回到水箱,构成PCW闭式循环。冷冻水则直接回冷水机组。系统补水采用RO水浮球阀根据水箱的液位自动补水。
PCW系统主要的参数为出水的压力和温度。PCW出水温度一般要求不能太低,温度控制要求在16°C^"22°C。若温度控制过低,在洁净室里湿度比较高情况下,会出现设备结露现象若温度过高则达不到设备冷却的要求.
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