“新基建”的激励之下,市场对电力电子设备的需求越来越强烈,这为功率半导体器件行业的发展添了一把火。在功率半导体领域深耕多年的华微电子,也携带自身优势,率先入局新基建赛道,助推行业发展。
在过去的半个多世纪中,华微电子持续突破诸多关键技术,加速推动功率半导体器件的国产化替代,助力我国工业强基与民族产业发展,成为具有国际竞争力的功率半导体企业。
现如今,华微电子厚积薄发,在国内功率半导体器件市场低端产品竞争加剧且中高端产品大量依赖进口的形势下,华微电子也加快高端产品的推广和研发布局,从2016 年开始,华微电子便开始规划生产高性能功率器件,包括超结MOSFET、CCTMOSFET、Trench FS IGBT、超高压快恢复二极管、Trench肖特基产品和大功率IGBT模块等。
未来几年,随着新能源汽车、5G通信等新兴产业日益崛起,功率半导体市场需求势必会持续增长,而作为国内主要功率半导体生产商之一的华微电子,其具有全系列的功率半导体器件门类,随着国内功率半导体器件市场保持快速且稳定的增长,华微电子也将迎来发展的快车道。
替代进口的有力竞争者
作为全球汽车和工业大国,中国是全球最大的功率半导体器件市场。然而,在经济的快速发展中,国外在极力阻止中国的崛起特别是美国对中国高科技技术发展制造了障碍,中兴、华为事件给我国功率半导体行业的发展敲响了警钟,目前中国功率半导体市场被美国、欧洲和日本品牌掌控,在国内市场占有绝对的优势,市场占有率60%以上。
华微电子自成立以来,一直致力于建设芯片制造能力,扩大生产线规模及提高芯片交付能力,目前拥有4英寸、5英寸与6英寸功率半导体芯片生产线,加工能力为每年400万片,在建8英寸生产线,设计产能96万片/年,具有单管封装资源为24亿只/年,IPM模块封装1800万块/年。
经历了半个多世纪的技术积累,华微电子在终端设计、工艺制造和产品设计方面拥有了多项专利及工艺诀窍,尤其在IGBT薄片工艺、Trench工艺、寿命控制和终端设计技术等方面拥有独特的核心技术达到国内领先,国际同行业先进水平。其中,IGBT产品五大关键技术,包括薄片制造技术、透明集电极IGBT制造技术、纵向和横向结构设计技术、背面注入及激活和硅片测试技术均已攻破难关,研发完成600V-650V,1200V-1350V的IGBT产品,产品采用国际主流的Trench-FS技术,主要应用在新能源电动汽车、变频家电和电磁炉等领域。Trench MOS先后经历了几代产品开发后,成功解决了深Trench刻蚀技术、阻挡层金属化淀积技术、W回刻技术等,已经完成了30V-250V的产品开发。
“要实现国产化替代,目前公司面临的主要困难是客户对国产半导体功率器件的接受度,主要是在新的应用领域和高端应用领域,需要客户给予一定的机会和时间,给予国产品牌与客户磨合的机会。”华微电子表示,当下,公司主要解决的问题是,在产品应用方面加强与客户的交流和改进,同时根据客户的实际应用需求开发更加契合应用场景的定制化产品。而这也逐渐在实现,华微电子的产品广泛应用于消费类电子、汽车电子、电力电子、工业控制与LED照明等领域,并不断在新能源汽车、光伏逆变、轨道交通等战略性新兴领域快速拓展,是飞利浦、松下、日立、海信、创维、长虹等国内外知名企业的配套供应商。
向高端细分领域迈进
在国内功率半导体器件市场低端产品竞争加剧且中高端产品大量依赖进口的形势下,华微电子也加快高端产品的推广和研发布局,在工业、汽车电子、5G、充电桩等领域产品的应用,已经取得一定的效果,并获得了国内知名企业的认可。
谈及未来的发展,华微电子表示将继续以公司传统的功率半导体芯片制造为核心,继续做大做强芯片制造能力,纵向发展建立8英寸芯片生产线,实现高端VDMOS、IGBT器件制造,满足快速增长的市场需要,横向扩展建立硅外延生产线,保证材料安全供应,建立封装测试生产线,重点建设模块生产线,向高压大功率方向发展,打造功率半导体产业制造基地,完善功率半导体产业链,加速功率半导体国产化进程。
“华微电子会继续发展自主研发、平台建设的IDM优势,不断升级硅基功率器件的性能和品质。公司具有IGBT、MOSFET、二极管、可控硅和BJT等全功率器件工艺平台,包括单管、IPM及PM等各类封装形式的产品,未来公司仍会把功率半导体作为主要的技术发展方向,结合公司市场领域,逐步建立配套的驱动IC生产线。”华微电子表示,在中低压MOSFET上,公司将进一步升级现有技术平台,不久将会推出第二代CCT MOSFET,以100V产品为例,单位面积导通电阻达到40毫欧。完善产品电压等级,建立起从10V~250V产品的全系列的电压平台,除了在消费类领域内应用外,拓展到服务器电源、5G、工业、人工智能和汽车电子。
对于高压MOSFET,今年年底会推出第二代超结MOSFET产品,进一步提升该系列产品的耐用性和效率,应用于充电桩和基站电源。在未来2~3年我们会继续提升超结MOS平台,采用多层外延结构,开发第三代超结MOS平台,达到与国际品牌一致的性能,产品系列涵盖了500V-900V,4A-72A全系列,能满足各个领域的产品需求。
“FRD二极管和IGBT一直是我们的核心产品,在未来2~3年,我们将致力于开发用于轨道交通和电网领域内需求的超高压产品系列,电压涵盖1700V~6500V。”华微电子还表示,Trench肖特基方面,公司已完成45V、60V、100V产品Trench SBD平台建设,正在开发80V、150V产品平台,具备势垒高度可调技术,可满足客户对于使用效率的更高需求,比平面产品具有更高的可靠性能力,应用在光伏领域和电源领域。此外,华微电子积极布局GaN和SiC器件,研发和生产增强型GaNHEMT,先在快充领域做GaN器件和应用方案,然后过渡到工业和通信电源领域;对于SiC器件,目前已经研发出了650V SBD二极管产品,将进一步拓展到1200V二极管和SiC MOSFET,主要应用于新能源汽车及充电桩。
市场红利渐释放
近几年来,中国功率半导体器件在工业控制、汽车电子、网络通讯等多领域应用带动下,需求持续上涨,中国功率半导体器件市场保持快速且稳定的增长。
“受新冠肺炎疫情影响,2020年功率半导体市场将会面临一定幅度的回落,之后将迎来快速复苏,预计到 2022年,中国功率半导体市场规模将达到 1960 亿元,2019~2022年年均复合增长率将会达到3.7%。”华微电子认为,未来几年,国内市场对功率半导体的需求仍然强劲。
这对华微电子来说,公司利润持续稳定增长已经有迹可循,公司具有全系列的功率半导体器件门类,随着市场需求的增长,公司也将会迎来发展的快车道。
而从细分市场结构来看,工业控制、汽车和网络通信,需求将大幅增长,其中 MOSFET和IGBT 成为最大受益产品。业内预计,2022年,MOSFET和IGBT 的市场份额合计占比超过30%,其MOSFET复合增长率为5.4%,至2022年市场规模将达到365 亿元;IGBT年市场规模达到251亿元,复合增长率7.4%。
“ MOSFET 和IGBT 已成为最主流的功率器件之一,广泛应用于汽车电子、工业电子、新能源汽车、充电桩、物联网、光伏新能源等领域。”但是,高端的MOSFET和IGBT绝大部分进口,只有华微电子等少数厂商可以生产,目前先进的生产技术基本被国外厂商垄断,全球最大的功率器件生产商有德国的英飞凌、美国的安森美、日本的三菱机电等。
2019 年初,华微电子计划投资新型电力电子器件基地项目建设,本次投资主要是为了建设8英寸生产线,以满足公司新型功率器件的生产,项目生产的产品主要有IGBT、低压Trench-MOS 、超结MOS 以及IC芯片,针对的市场是目前国内相对空白的高低功率半导体市场,产品下游市场增长迅速,进口替代空间巨大。投资项目产品性能和技术水平虽然与国际大厂的产品还略有差距,但是其主要性能已经和国际主流公司的产品相当,个别参数还具有一定优势。业内预测,未来几年,随着中高端技术产品在市场规模化应用,新产品、新领域重点项目指标的达成将带动华微电子整体业绩持续稳步增长。
公司简介“仙童半导体”成立于1957年,但提到“仙童”,就不得不先提起另外的一段故事,那就是成就了“二十世纪最伟大发明”的“晶体管之父” 的肖克利(W.Shockley)博士,1955年肖克利离开贝尔实验室返回故乡圣克拉拉,创建了"肖克利半导体实验室"。不久,因仰慕"晶体管之父"的大名,无数的求职信像雪片般飞到肖克利办公桌上。第二年,八位年轻的科学家从美国东部相继来到硅谷,加盟肖克利实验室。他们是:诺依斯(N. Noyce)、摩尔(R.Moore)、布兰克(J.Blank)、克莱尔(E.Kliner)、赫尔尼(J.Hoerni)、拉斯特(J.Last)、罗伯茨(S.Boberts)和格里尼克(V.Grinich)。他们的年龄都在30岁以下,风华正茂,学有所成,都正处在创造能力的巅峰。他们之中,有获得过双博士学位者,有来自大公司的工程师,有著名大学的研究员和教授,这也是当年美国西部从来没有过的英才大集合。29岁的诺依斯是八人之中的长者,也是"投奔"肖克利最坚定的一位。当他飞抵旧金山后所做的第一件事,就是倾囊为自己下一所住所,决定永久性定居,根本就没有考虑到工作环境、条件和待遇。其他七位青年,来硅谷的经历与诺依斯大抵相似。
可惜,肖克利是天才的科学家,却缺乏经营能力;他雄心勃勃,但对管理一窍不通。特曼曾评论说:"肖克利在才华横溢的年轻人眼里是非常有吸引力的人物,但他们又很难跟他共事。"一年之中,实验室没有研制出任何象样的产品。八位青年瞒着肖克利开始计划出走。在诺依斯带领下,他们向肖克利递交了辞职书。肖克利怒不可遏地骂他们是“八叛逆”(The Traitorous Eight)。青年人面面相觑,但还是义无反顾离开了那个让他们慕名而来,之后又相聚在一起的“伯乐”。不过,后来就连肖克利本人也改口把他们称为“八个天才的叛逆”。在硅谷许多著作书刊中,“八叛逆”的照片与惠普的车库照片属于同一级别,具有同样的历史价值。
编辑本段发展历程诞生“八叛逆”找到了一家纽约的摄影器材公司来给他们投资创业,这家公司名称为Fairchild,音译“费尔柴尔德”,但通常意译为“仙童”。费尔柴尔德不仅是企业家,也是发明家。他的发明主要在航空领域,包括密封舱飞机、折叠机翼等等。由于产品非常畅销,他在1936年将公司一分为二,而其中生产照相机和电子设备的就是仙童摄影器材公司。当“八叛逆”向他寻求合作的时候,已经60多岁的费尔柴尔德先生仅仅给他们提供了3600美元的创业基金,要求他们开发和生产商业半导体器件,并享有两年的购买特权。于是,“八叛逆”创办的企业被正式命名为仙童半导体公司,“仙童”之首自然是诺依斯。1957年10月,仙童半导体公司在硅谷嘹望山查尔斯顿路租下一间小屋,距离肖克利实验室和距离当初惠普公司的汽车库差不多远。“仙童”们商议要制造一种双扩散基型晶体管,以便用硅来取代传统的锗材料,这是他们在肖克利实验室尚未完成却又不受肖克利重视的项目。费尔柴尔德摄影器材公司答应提供财力,总额为150万美元。诺依斯给伙伴们分了工,由赫尔尼和摩尔负责研究新的扩散工艺,而他自己则与拉斯特一起专攻平面照相技术。
发展1958年1月,蓝色巨人 IBM公司给了他们第一张订单,订购100个硅晶体管,用于该公司电脑的存储器。到1958年底,“八叛逆”的小小公司已经拥有50万销售额和100名员工,依靠技术创新的优势,一举成为硅谷成长最快的公司。
仙童半导体公司在诺依斯精心运筹下,业务迅速地发展,同时,一整套制造晶体管的平面处理技术也日趋成熟。天才科学家赫尔尼是众"仙童"中的佼佼者,他像变魔术一般把硅表面的氧化层挤压到最大限度。仙童公司制造晶体管的方法也与众不同,他们首先把具有半导体性质的杂质扩散到高纯度硅片上,然而在掩模上绘好晶体管结构,用照相制版的方法缩小,将结构显影在硅片表面氧化层,再用光刻法去掉不需要的部分。扩散、掩模、照相、光刻,整个过程叫做平面处理技术,它标志着硅晶体管批量生产的一大飞跃,也为"仙童"打开了一扇奇妙的大门,使他们看到了一个无底的深渊:用这种方法既然能做一个晶体管,为什么不能做它几十个、几百个,乃至成千上万呢?1959年1月23日,诺依斯在日记里详细地记录了这一最伟大也被当时的人们看作是最疯狂的设想。
1959年2月,德克萨斯仪器公司(TI)工程师基尔比(J.kilby)申请第一个集成电路发明专利的消息传来,诺依斯十分震惊。他当即召集“八叛逆”商议对策。基尔比在TI公司面临的难题,比如在硅片上进行两次扩散和导线互相连接等等,正是仙童半导体公司的拿手好戏。诺依斯提出:可以用蒸发沉积金属的方法代替热焊接导线,这是解决元件相互连接的最好途径。仙童半导体公司开始奋起疾追。1959年7月30日,他们也向美国专利局申请了专利。为争夺集成电路的发明权,两家公司开始旷日持久的争执。1966年,基尔比和诺依斯同时被富兰克林学会授予“巴兰丁”奖章,基尔比被誉为“第一块集成电路的发明家”,而诺依斯被誉为“提出了适合于工业生产的集成电路理论”的人。1969年,法院最后的判决下达,也从法律上实际承认了集成电路是一项同时的发明。
1960年,仙童半导体公司取得进一步的发展和成功。由于发明集成电路使它的名声大振,母公司费尔柴尔德摄影器材公司决定以300万美元购买其股权,“八叛逆”每人拥有了价值25万美元的股票。1964年,仙童半导体公司创始人之一摩尔博士,以三页纸的短小篇幅,发表了一个奇特的定律。摩尔天才地预言说道,集成电路上能被集成的晶体管数目,将会以每18个月翻一番的速度稳定增长,并在今后数十年内保持着这种势头。摩尔所作的这个预言,因后来集成电路的发展而得以证明,并在较长时期保持了它的有效性,被人誉为“摩尔定律”,成为IT产业的“ 第一定律”。
没落60年代的仙童半导体公司进入了它的黄金时期。到1967年,公司营业额已接近2亿美元,在当时可以说是天文数字。据那一年进入该公司的虞有澄博士(现英特尔公司华裔副总裁)回忆说:“进入仙童公司,就等于跨进了硅谷半导体工业的大门。”然而,也就是在这一时期,仙童公司也开始孕育着危机。母公司总经理不断把利润转移到东海岸,去支持费尔柴尔德摄影器材公司的盈利水平。在目睹了母公司的不公平之后,“八叛逆”中的赫尔尼、罗伯茨和克莱尔首先负气出走,成立了阿内尔科公司。据说,赫尔尼后来创办的新公司达12家之多。随后,“八叛逆”另一成员格拉斯也带着几个人脱离仙童创办西格奈蒂克斯半导体公司。从此,纷纷涌进仙童的大批人才精英,又纷纷出走自行创业。结果人才纷纷离仙童而去,最终仙童中的斯波克将NSC弄成了全球第六大半导体厂商,桑德斯创立了AMD,而诺依斯和摩尔则创立了INTEL(英特尔),而这就是仙童的整个历程。[1]
编辑本段公司影响“仙童”,一个永远让世人铭记和仰慕的名字,一个对半导体界乃至全世界作出了后人无法企及的贡献。引用苹果总裁乔布斯的一句话:“仙童半导体公司就象个成熟了的蒲公英,你一吹它,这种创业精神的种子就随风四处飘扬了。”仙童半导体拥有与众不同的晶体管制作方式,扩散、掩模、照相、光刻,整个过程叫做平面处理技术,它标志着硅晶体管批量生产的一大飞跃。在1969年的半导体工程师大会,400位与会者中只有24位的履历表上没有在仙童公司的工作的经历。
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