技术领域:
本发明涉及半导体布线形成方法及装置、半导体器件制造方法及装置以及晶片,尤其涉及以在晶片上形成的沟内埋入的方式形成布线。
背景技术:
在VLSI领域中,实现了称为波纹装饰工艺的布线形成方法。通过该波纹装饰工艺在层间绝缘膜中形成接触孔、通孔(连接孔)等之后,通过在这些孔中填充铜,实现埋入层间绝缘膜中的布线系统。由此,得到布线无台阶、表面平坦化的IC,同时,以低电阻实现高可靠性的金属布线系统。
因此,在波纹装饰工艺中,通常,采用仅在层间绝缘膜中的布线沟等中填充铜的湿式镀。通过湿式镀,具有能在高长宽比的布线沟中填充铜的优点。
这个问题这么高端才这么少钱,看在没有人回答的份上就告诉你吧。半导体芯片是在半导体上制作原件,利用半导体做原料而不单单是当作一个基底来用的。
1.拿硅片为例,首先用光刻胶掩住做半导体的部分,其余喷上氧化剂氧化,众所周知二氧化硅是绝缘的,绝缘层就做成了。
2.没氧化的部分经过各种掺杂方法完成参杂,扩散,耦合之后,电子原件就制作完成了!所以电子原件不是安装在半导体上的。
3.不过还是有东西要安装上去的,就是引线,引线一层层地布线,把电子原件引成三极管,二极管,场效应管等,然后再布线成为与门,非门,或们,放大电路等,都是在布线的时候完成逻辑的组装的,题主的理解在这里没错。
4.现代技术也有在绝缘体上开始制作的。高端原件如石墨烯就是直接把石墨烯布在二氧化硅上面,用硝酸或硼离子射击进行掺杂变性,然后再布线,整体思想和题主的相符合,它省去了还原硅的能量,石墨烯易取材,效应好,是未来的方向之一。但是工艺复杂,毕竟要把石墨烯弄成这么小再粘上去可不容易,而且步骤也多,没有硅底的简单粗暴,所以现在还是用硅刻蚀法~
手机纯手打,多给几分吧~
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