半导体制造,DNS清洗机是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思

半导体制造,DNS清洗机是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思,第1张

DNS是厂商名字,中文叫迪恩士,就是化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,最后还有DI清洗。IPA是异丙醇,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。

我前段时间也学习了解了一下晶圆的制作过程,有些资料,你看看吧~@~

半导体国际收集

晶圆清洗设备

Akrion

Applied Materials

Crest Ultrasonics

Dainippon Screen (DNS)

EV Group

FSI International

Lotus Systems

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SEZ (Lam Research)

Semitool

SES

Solid State Equipment

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热处理设备

Applied Materials

ASM

ATV Technologie

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Axic

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Mattson

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Applied Materials

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Applied Materials

Axic

AIXTRON

ASM

ATV Technologie

Aviza Technology

CVD Equipement

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Novellus

Oerlikon

Oxford Instruments

Tokyo Electron (TEL)

Veeco Instruments

海微芯仪半导体设备

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七星华创(SevenStar)

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Oerlikon(Unaxis Wafer Processing)

Oxford Instruments

Varian Semiconductor

Veeco Instruments

光刻设备

ASML

Canon

EV Group

Molecular Imprints

Nikon Precision

Suss MicroTec

Ultratech

Vistec Lithography

涂布/显影设备

Dainippon Screen (DNS)

EV Group

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刻蚀/去胶/灰化设备

Applied Materials

Aviza Technology

Axic

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Mattson Technology,Inc

Oerlikon

Oxford Instruments

Tokyo Electron (TEL)

Veeco Instruments

北方微电子

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中微半导体AMEC

CMP设备

Applied Materials

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Novellus

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电镀系统设备

Applied Materials

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Novellus

Semitool

Surfect

盛美半导体

半导体工艺用石墨元件/材料

POCO Graphite

Carbone Lorraine(Le Carbone Advanced Graphites )

东洋炭素株式会社TOYO TANSO

西格里碳素集团SGL Group

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