半导体芯片中化学过滤器过滤什么气体

在半导体芯片厂，特别是12英寸的晶圆厂，会使用化学过滤器，化学过滤器一般分为三种，除酸性气体（SO42-、F-、CL-、NO3-、CHCOO-、HCOO-等）、除碱性气体（NH3,NMP等）和除有机物（TVOC),祛除的气体不同选择的化学过滤材料也不相同。祛除气体的浓度不同化学过滤器的寿命也不相同。。。。。上海宣拓

清除空气中的微粒杂质的装置。活塞式机械（内燃机、往复压缩机等）工作时，如果吸入空气中含有灰尘等杂质就将加剧零件的磨损，所以必须装有空气滤清器。

空气滤清器由滤芯和壳体两部分组成。空气滤清器的主要要求是滤清效率高、流动阻力低、能较长时间连续使用而无需保养。

快速导航

词条图册关系表

中文名空气滤清器适用范围制药、电子、食品、医院、半导体功能气体过滤组成滤芯、壳体    外文名Air Filter概念类型机械装置应用领域气动机械、内燃机械、液压系统简称风格  

目

录

1简介

2主要分类

3主要作用

4 *** 作方法

清洗方法

滤清方式

使用方法

5维护与保养

安装使用

质量鉴别

更换周期

更换步骤

6其他信息

7词条图册

1简介

编辑

空气滤清器（Air Filter）主要应用在气动机械、内燃机械等领域，作用是为这些机械设备提供清洁的空气，以防这些机械设备在工作中吸入带有杂质颗粒的空气而增加磨蚀和损坏的机率。空气滤清器的主要组成部分是滤芯和机壳，其中滤芯是主要的过滤部分，承担着气体的过滤工作，而机壳是为滤芯提供必要保护的外部结构。空气滤清器的工作要求是能承担高效率的空气滤清工作，不为空气流动增加过多阻力，并能长时间连续工作。

其在液压机械的液压系统上也有不同程度的应用，主要用来调节液压系统油箱的内外压力差。

空气滤清器(6)

请点击输入图片描述

请点击输入图片描述

2主要分类

编辑

简称：风格。

空气滤清器的型式有二种，即干式和湿式。空气滤清器(3)

请点击输入图片描述

请点击输入图片描述

干式空气滤清器是通过一个干式滤芯，（如纸滤芯）将空气中的杂质分离出来的滤清器。轻型车（含轿车、微型车）所用的空气滤清器一般为单级。它的形状有扁圆或椭圆及平板式。过滤材料为滤纸或非织造布。滤芯端盖有金属或聚氨脂的，外壳材料为金属或塑料。在额定空气体积流量下，滤芯的原始滤清效率应不低于99.5%。重型车由于工作环境恶劣，它的空气滤清器必须是多数的。第一级为旋流式预滤器（如叶片环、旋流管等），用于滤除粗大颗粒杂质，过滤效率在80%以上，第二级细滤是微孔纸滤芯（一般称作主滤芯），其过滤效率达99.5%以上。主滤芯之后还有一个安全滤芯，其作用是在安装和更换主滤芯时，或在主滤芯偶然损坏时防止灰尘进入发动机。安全芯的材料多为非织造布，也有使用滤纸的。

湿式空气滤清器包括油浸式和油浴式两种。

油浸式是通过一个油浸过的滤芯，将空气中杂质分离出来，其滤芯材料有金属丝织物的，也有发泡材料。

油浴式是将吸进的含尘空气导入油池而被除去大部分灰尘，再在带油雾的空气向上流经一个由金属丝绕成的滤芯时作进一步过滤，油滴和被拦住的灰尘一起返回到油池。油浴式空气滤清器一般用于农业机构和船用动力。

空气滤清有惯性式、过滤式和油浴式3种方式：

①惯性式：由于杂质的密度较空气的密度大，当杂质随空气旋转或急转弯时，离心惯性力的作用能使杂质从气流中分离出来。

②过滤式：引导空气流过金属滤网或滤纸等，将杂质阻挡并粘附在滤芯上。

③油浴式：在空气滤清器底部设有机油盘，利用气流急转冲击机油，将杂质分离并粘滞在机油中，而被激荡起的机油雾滴随气流流经滤芯，并粘附在滤芯上。空气流过滤芯时能进一步吸附杂质，从而达到滤清的目的。

净化空气的过滤装置。他们有以下区别：

1：机器（如内燃机和空压机）进气道将外界吸入的空气净化；

2：烟粉尘排放工厂及交通废气必须事先净化道大气的环保措施净化器；

3：净化厂房的空间须达高等级清洁级所使用的高效过滤装置。

他们之间从选材到试验以及技术指标要求没有一致性，各自的标准也不相

精密过滤器用在水处理前端和末端，各有用途，如果用在反渗透预处理前端，用来保障进入膜的进水安全，因此也叫保安过滤器；如果用在反渗透或超滤膜的后面，用来保障终端出水的纯净度，精密过滤器又称为微孔膜过滤器，这时的过滤器精度通常在1微米以下，主要是除去通过紫外线杀菌器后，水中残留的细菌等杂质。

精密过滤器广泛应用于各行各业，在每个行业有不同的用途。

精密过滤器

精密过滤器过滤效果

精密过滤器的用途:

1、食品饮料工业：太空水、矿泉水的精滤，饮料、酒类的澄清过滤处理。

2、医药行业：无菌水、口服液、大输液、针剂等的用水处理。

3、电子半导体工业：半导体、仪表、显像管等生产工厂的纯水制备、洗条水的过滤。

4、石油化学工业：有机溶剂、酯、醇、酸、碱等化学原料、油类的提纯，油田注水的制备等。

5、工业废水处理：环境保护、电镀废水、印刷废水、制药废水等的处理。

6、海水淡化：海水、苦咸水淡化的水质处理，

7、生活用水：宾馆、公寓的给水处理等。

8、工业水处理：电渗析、离子交换、反渗透、超滤等装置的工业水处理精密过滤器使用。

---