德国亚琛工业大学

亚琛工业大学（简称RWTH Aachen）位于北莱茵-威斯特法伦州，是德国最负盛名的理工科大学之一。大学成立于1870年，当时成立的宗旨在于促进手工业与经济的发展，当时叫做莱茵威斯特法伦皇家技术学校，刚成立时仅有29名教师。亚琛工业大学自成立以来，不断开拓理工科目新领域。现在仅机械制造专业就有15门初等学位后的专修科目以供选择。亚琛工业大学在电工学、采矿以及一般的工程学科上独领风骚，不仅是德国规模最大的理工科学府之一，也是世界上顶尖的理工大学。

学校概况

亚琛工业大学位于北莱茵-威斯特法伦州，全称为Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule Aachen。又译作亚琛工业大学、亚琛科技大学）成立于1870年，是欧洲最负盛名的理工科大学之一，也是欧洲著名理工科大学联盟IDEA 联盟的成员之一（其余为帝国理工学院，代尔夫特理工大学，苏黎世联邦理工学院，巴黎高科），德国TU9大学的联盟的成员之一，目前学校有学生3.5万余人，包括4368名外国留学生、教授322名。另外还有260个附属研究所展示了这个大学雄厚的科研实力。

一流的教育水平造就了一流的学校，现在许多外国著名公司如爱立信、福特、飞利浦、联合科技等都在亚琛建立了分部，三菱也在亚琛附近建立了它的欧洲半导体中心以吸收人才，微软的德国研究院也设在亚琛。2007年10月19日，德国第二轮“精英大学”评选最终揭晓，亚琛工业大学成为德国九所精英大学之一。

学校现设有数学-信息-自然科学学院、建筑学学院、土木工程学院、机械工程学院、地质资源和材料工程学院、电子工程和信息技术学院、文学院、经济学院、医学院十大学院。设有近百个专业，这些专业都以理工硕士、文科硕士或国家统一测试结业。另有多种深造或补充专业课程、学位后课程以及各种学习项目，为求学者提供了继续深造的机会。亚琛工业大学的科目表几乎复盖了所有老牌大学可以提供的专业。50%左右的学生选择了技术工程专业，如机械制造、电子等；18%左右的学生选择理科专业，数学、物理等；余下的学生则各有10%在文科系、经济系或医学专业就读。

目前，亚琛工业大学在校学生达到了35000余名，工作人员10000多名(其中约1900名科技工作人员，6000名非科技工作人员，1000名左右实习或培训人员和1500名中间工作者)，图书馆藏书100余万册。目前，社会实践、专业间合作和国际性是大学260多所试验所、教体、研究创新机构及管理中心的宗旨。通过参加各种活动，学生们也可以领略到这一点。作为偏重实践性的大学，地处荷兰，德国，比利时交界处，欧洲地理中心的亚琛工业大学在最近几十年中渐渐发展为亚琛市及周围地区的一大经济中心。2009年预算近9亿欧元，绝大多数经费来自于工业界赞助。为了适应当前国际需要，亚琛工业大学在坚持以往一贯传统的同时，新开了一批硕士学位专业(Masterstudiengang)，使大学在国际竞争中保持优势。不仅吸引了德国最优秀的中学别业生，而且吸引着来自世界上100多个国家的留学生，在该校就读的外国学生及外国科研工作者达4000余名，他们来自全世界100多个国家。亚琛工业大学与世界上70多个大学建立了校际合作关系。亚琛工业大学的科目表几乎复盖了所有老牌大学可以提供的专业。50%左右的学生选择了技术工程专业，如机械制造、电子等；18%左右的学生选择理科专业，数学、物理等；余下的学生则各有10%在文科系、经济系或医学专业就读。

与亚琛工业大学合作的中国大学

1. 北京科技大学 (自1979年开始合作)

2. 北京清华大学 (自1993年开始合作)

3. 大连理工大学 (自1986年开始合作)

4. 杭州浙江大学 (自1986年开始合作)

5. 南京大学 (自1984年开始合作)

6. 天津大学 (自1987年开始合作)

7 同济大学 （自1989年开始合作）

8. 中国矿业大学 （自2009年开始合作 ）

在芯片制造过程中，有这么一项步骤：利用紫外线去除晶圆表面的保护膜。用以完成这一个步骤的机器，我们称它为光刻机。

芯片制造，光刻机是核心设备。目前在光刻机领域，有四个档次，分别是超高端、高端、中端和低端，分别对应的节点是5/7nm工艺、7-28nm工艺、28-65nm工艺和65-90nm工艺。

如今，任何电子设备几乎都离不开芯片，而自从芯片工艺进入到7nm时代后，需要用到一台顶尖的EUV光刻机设备，才能制造7nm、5nm等先进制程工艺的芯片产品。目前，这种顶尖的EUV极紫外光刻机，只有荷兰光刻机巨头ASML（阿斯麦）才能制造。

如果没有光刻机，即使能设计出最为先进的芯片，也无法进行制造和封装等后续的 *** 作。这也就是为什么华为海思研发的基于5nm工艺的麒麟9000芯片，在国际上都享有盛名，但没有高端EUV光刻机的支持，就算拿到世界第一，也无用武之地。

为什么最顶尖的光刻机是来自荷兰，而不是美国？

20世纪60-70年代，光刻机的早期发展阶段，美国是走在世界前面的。那时的光刻机原理很简单，就是把光通过带电路图的掩膜投影到涂有光敏胶的晶圆上，那时的晶圆也只有1英寸大小。

80年代左右，由于美国的扶持，一些装配产业向日本转移，日本也抓住了机遇，在半导体领域趁势崛起。90年代，日本的半导体产业成为了全球第一，出口额超过美国。

1984年，荷兰光刻机厂商ASML成立，此时的阿斯麦只是飞利浦和一家小公司ASM International以50:50的比例组成的合资公司，最初员工只有31人。在成立初期，ASML没钱没客户，甚至只能在简易木板房工作。

1997年，英特尔和美国能源部牵头组建EUV LLC前沿技术组织，集成了通讯巨头摩托罗拉、IBM、芯片巨头AMD，以及能源部下属三大国家实验室：劳伦斯-利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。

这些实验室是美国 科技 发展的幕后英雄，之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体行业的各种前沿 科技 。

此时的美国政府将EUV技术视为推动本国半导体产业发展的核心技术，并不太希望外国企业参与其中，但是此时美国本土光刻机企业已是“扶不起的阿斗”。

最后，ASML同意在美国建立一所工厂和一个研发中心，以满足所有美国本土的产能需求，保证55%的零部件均从美国供应商处采购，并接受定期审查，才被纳入美国EUV LLC联盟。

这也就是为什么说“ASML一半是欧洲的，一半是美国的。”

ASML被允许加入EUV LLC之后便顺风顺水一飞冲天，而尼康和佳能却被排除在外，从而失去了未来的门票。

十多年来，ASML一直都占据着全球第一的位置，而ASML的总裁也曾表示，即使他们将EUV光刻机制造的图纸公开，也没有一家公司可以顺利制造出来。

EUV光刻机，这台比原子d还难造的机器，单台售价超过1.2亿美元，虽然价格高昂，却依旧供不应求，甚至有些国家就算出价再高也买不到。

一台顶级的EUV光刻机重达180吨，包含大约10万个零部件，全球供应商超过5000家，需要40个集装箱运输。即使你购买到了ASML的EUV光刻机，如果没有他们的帮助，你也无法正常安装使用，整个光刻机设备的安装调试就需要一年时间。

虽然ASML是一家荷兰公司，但它的背后却有着欧盟及美国的力量，很多关键技术都是由美国及欧盟国家提供的。一台顶尖EUV光刻机的零部件中，美国光源占27%、荷兰腔体和英国真空占32%、日本材料占27%、德国光学系统占14%，它是全世界顶尖技术的结晶。

目前中国的光刻机领域还处于初步发展阶段，上海微电子已经能够实现90nm光刻机量产。但是90nm之后，还有65nm、45nm、32nm、22nm、14nm、10nm、7nm、5nm，这些节点技术一步一个坎，有些坎几年都未必能更新出一代。万里长征才开始第一步。

文 深挖DIG

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