半导体工艺废气如何处理?

半导体工艺废气如何处理?,第1张

√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。

希望此次回答对您有所帮助!

很多半导体工厂作业员的工作都是大同小异,半导体叫作业员为TA。

主要职责如下:

1.正常跑顺的货,需要TA负责跑货及下货(就是把半成品放进机台里,机台会自动跑货,货跑完后,TA需要把货从机台里面LOAD出来,在送到下一站)

2. 如果工程师要借机做实验,你需要告诉工程师,这个机台现在是忙碌或者空闲状态,如果机台空闲,你需要协助工程师借机或者还机(只是系统上的 *** 作,把机台状态设为忙碌或空闲)

3. 你需要定时测试你负责的机台,相当于检查机台是否正常,怎么测试到时候会培训,或者该机台的设备工程师会告诉你们。测机结果工程师判断。当然如果你熟悉之后其实你也可以判断,但是要工程师同意才可以跑货。

4. 最后,就是线上出现异常你需要通知线长或者制程工程师

半导体行业TA大概就是这些工作

半导体制冷风扇新风的传输方式采用置换式,户外的新颖空气经过负压方式会自动吸入室内,经过安装在卧室、室厅或起居室窗户上的新风口进入室内时,会自动除尘和过滤。同时,再由对应的室内管路与数个功用房间内的排风口相连,

构成的循环系统将带走室内废气,集中在排风口“呼出”,而排出的废气不再做循环运用,新旧风形良好的循环。

扩展资料:

水冷中央空调包含四大部件,压缩机、冷凝器、节流装置、蒸发器,制冷剂依次在上述四大部件循环,压缩机出来的冷媒(制冷剂)高温高压的气体,流经冷凝器,降温降压,冷凝器通过冷却水系统将热量带到冷却塔排出,冷媒继续流动经过节流装置,

成低温低压液体,流经蒸发器,吸热,再经压缩。在蒸发器的两端接有冷冻水循环系统,制冷剂在此次吸的热量将冷冻水温度降低,使低温的水流到用户端,再经过风机盘管进行热交换,将冷风吹出。

参考资料来源:百度百科-空调

参考资料来源:百度百科-中央空调


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