需要测试半导体厚度,求推荐个好用的仪器?

需要测试半导体厚度,求推荐个好用的仪器?,第1张

楼主你可以了解下立仪科技的测厚仪,他们的设备在半导体硅片、锗、碳化硅、氮化镓、第三代半导体材料厚度,平面度,品圆翘曲,蚀刻深度、分割槽深度等领域有着非常不错的应用,而且测量数据精准可靠,仪器 *** 作也简单。

用测厚度的仪器直接测硅片中心就可以了。测量太阳能硅片一般有两种:一种是测五点,测硅片的中心点和四边的中间点(或四个角);一种是九点测量,分别测硅片四角、四边中间点和硅片中心点。具体测量的仪器可以了解下立仪科技,他们家的产品类型多,适用领域广,能够实现实时精准测量。

测厚仪,顾名思义,就是用来测量某种物体厚度的仪器,测厚仪,英文名称为thickness gauge ,是一类用来测量材料及物体厚度的仪表,在工业生产中常用来连续或抽样测量产品的厚度。测厚仪采用机械接触式测量方式,严格符合标准要求,有效保证了测试的规范性和准确性。专业适用于量程范围内的塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片、硅片等各种材料的厚度精确测量。

激光测厚仪:此类测厚仪是利用激光的反射原理,根据光切法测量和观察机械制造中零件加工表面的微观几何形状来测量产品的厚度,是一种非接触式的动态测量仪器。 X射线测厚仪:此类测厚仪利用的是当X射线穿透被测材料时,X射线强度的变化与材料厚度相关联的特性,从而测定材料的厚度,是一种非接触式的动态计量仪器。超声波测厚仪:这种测厚仪是根据超声波脉冲反射的原理来对物体厚度进行测量的,当探头发射的超声波脉冲通过被测物体到达材料分界面时,脉冲会发生反射而返回探头,通过精确测量超声波在材料中传播的时间,来计算被测材料的厚度。涂层测厚仪:主要采用的是电磁感应法来测量涂层的厚度。涂层测厚仪会在部件表面的探头处产生一个闭合的磁回路,伴随着探头与铁磁性材料之间距离的变化,该磁回路将会发生不同程度的改变,因此会引起磁阻及探头线圈电感的变化。


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