2022-01-07Nanospray Advance技术

大日本网屏此前销售过半导体工艺用清洗装置“SS-3100”等，这些装置都配备了向晶圆表面喷射液体超微粒子的喷射清洗技术“Nanospray2”。不过，32nm以后的工艺方面，随着工艺的微细化，电路图案的尺寸越来越细，使用以前的技术进行喷射清洗时，电路图案遭到破坏的危险性越来越大。比如，在以前的技术中，液滴的大小、喷射速度及喷射方向等不均匀。因此，为确保清洗能力，需要使液滴的大小和喷射速度的平均值保持在一定值以上，这样就会含有尺寸大且喷射速度高的液滴，从而导致图案的损坏。

对此，DNS在继承Nanospray2技术基本思路的基础上，开发出了分别控制液滴大小、喷射速度及喷射方向的“Nanospray Advance”技术。新开发出了可逐粒喷射大小相同的液滴的喷头，利用该喷头抑制了液滴的尺寸、喷射速度及喷射方向的不均现象。由此，可将液滴能量的不均匀性降至1/100左右，并能够在确保清洗能力的同时抑制对电路图案的损坏。喷头可喷射的液滴量为数千万粒/秒。

“Nanospray Advance”清洗技术将在2010年12月举行的“SEMICON Japan 2010”上展出。另外，在此次的SEMICON Japan上，DNS还将把LED及功率半导体用晶圆清洗装置“CW-1500”作为新产品展示，并参考展出高亮度LED用纳米压印装置“XI-1000”。此外，还预定展出“SU-3100”“FC-3100”“SS-3100”等各种清洗装置、闪光灯热处理装置“LA-3000-F”、涂布显像装置“SOKUDO DUO”以及结晶类太阳能电池PSG膜气相清洗装置“RS-C810A/810L”等。

比较忙.。

喷嘴加工我知道的有以下一种方式：1.激光加工。主要加工非金属的喷嘴。喷嘴直径越小，对激光设备要求越高，尤其对激光设备的聚焦性与运动精度要求非常高。2.用钻头加工。SPECTRA喷头的喷嘴是用钻头加工的。可能你不信，我当时也不信，可后来看了一段内部的视频后相信了。这段视频是其公司内部的，网上、我这里都没有。但我可以负责任的说确实是钻头加工的。其加工的成品率只有60%左右。3.喷头喷嘴是镶嵌上去的。买现成的蓝宝石（氧化铝）喷嘴，然后镶嵌在喷头孔上。这种喷头用于喷码机的比较多。另外想说的是：喷头开发涉及电路、材料、机械加工等多方面，按照目前我国各方面实力，开发是不成问题的，但国内始终不能聚集优势攻克它，悲哀啊 。喷绘机用的喷头动辄5千上万或几万一只，一台设备光喷头的成本就5-12万（一般通用机型），喷头是暴利啊。怪我们国内企业不争气啊。反观欧美日，他们对喷头的设计开发目前已经是“随心所欲”了，根据不同应用开发相应的喷头，我们在这方面落后太多了，还是得从基础的喷头做起的。做喷头需要大量的人力、物力、资金投入，要进行严格的测试，还要做好付出这么多可能并没有达到预期的心里准备。我们国内企业往往只争取眼前利益对于这种一时开不到收益的项目大多不感兴趣的。如有可能或机会我也想做这方面的工作。

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