关于管道中流体的一些代码是什么意思？如LSW，GEX，SEX，VEX，AEX，PV

#P#半导体厂务制程排气系统半导体厂务系统，大都可区分仪电(69KV变电所及11.4KV变电站系统、480 / 277 / 120V系统、发电机系统、PC / CV系统、空压机系统、FMCS系统、电话系统、门禁系统)、系统工程(纯水系统、PCW系统、City Water系统、废水处理系统、气体供应系统、化学供应系统)、机械工程(洁净系统、Chiller &Hot water系统、废气处理 / 排气系统)、装机专案(给水 / 排水配管、气体 / 排气配管、真空配管、电力配线、厂商管理系统)、厂区服务(一般水电维护、土木及装潢、景观园艺、TPM预防保养)。今就其废气处理及排气系统加以说明如下。在半导体生产环境中，不同的设备机台会产生不尽相同的化学性废气，虽然部份设备机台本身有前废气处理设备，仍然不能避免处理设备失效之问题。另外晶片生产制程中也使用了大量的易燃溶剂与化学品，因此必须将它们做有效的分类与处理，以避免在管路中因二度化学反应产生危险，并降低废气排放及符合环境法规要求， 因此废气排放处理系统在此就扮演著很重要的角色。废气排放处理系统(Air Abatement System，简称AAS)，其排气管路可区分为General Exhaust System (GEX)、Scrubber Exhaust System (SEX)、Ammonia Exhaust System (AEX)、VOC Exhaust System (VEX)。General Exhaust System (GEX)生产过程机台本身会产生热源、particle与无害气体，但考虑无尘室空调与过滤装置负荷，及生产环境温度的舒适性，因此将此废气以一般风车抽取排放至大气环境，不需做任何处理(图一)。#F#图一：General Exhaust SystemScrubber Exhaust System (SEX)在晶片生产过程中，制程设备会使用大量的化学品，其大都涵盖大量酸性与少量碱性等腐蚀性化质。如果未将此类化学性废气加以处理而排放，则势必会严重冲击我们的环境。 SEX设备主要是一湿式洗涤塔(Scrubber)，利用碱性(NaOH)循环水冲洗制程排放的酸性废气，并藉由酸碱中和原理将排气中性化而不具腐蚀性，而排气的化学物质经冲洗沉降并定量排放至废水处理场做进一步处理(图二)。#F#图二：Scrubber Exhaust SystemAmmonia Exhaust System (AEX)AEX (图三)最主要是处理制程设备所产生的Ammonia (阿摩尼亚，NH3)。处理设备本身主要也是一湿式洗涤塔(Scrubber)，利用酸性(H2SO4)循还水冲洗制程排放中所含有的Ammonia废气，废气中的化学物质NH3经冲洗而溶於循还水中，废气再进入SEX处理，其洗涤塔废水定量排放至废水处理场做进一步处理。 #F#图三：Ammonia Exhaust System而Ammonia 的废气不直接进入SEX处理，乃是Ammonia (NH3)的废气与SEX内的氯与氟根离子(CL-, F-) 产生反应，生成白色的氯化氨或氟化氨(NH4CL, NH4F)粉尘结晶，会造成管路阻塞，环境污染与烟囱排放不透光率不符环保法规要求。VOC Exhaust System (VEX)Volatile organic compounds (VOCs)其特徵和酸碱不同，且较难处理。若未处理直接排至大气环境，会有污染空气，造成空气品质下降之风险。一般来说VEX处理系统主要分为两大部份：(1) ACT 690 Condenser (冷凝器) only for partial equipment；(2)沸石转轮(Zeolite roller)。ACT 690 Condenser主要的功能在於先处理高融点的VOC，以利後段沸石转轮处理其它低融点之VOC(图四)。ACT 690 Condenser组成包括：● Filter：过滤来自设备排放的杂质；● Cooler：一种利用热交换浓缩冷凝气态有机化合物的设备，是以5蚓冰水将部份高融点气态 VOC冷凝下来便於收集处理；● Exchanger：此热交换器是一节能装置，将冷凝後的低温废气再与入口的高温废气先做热交换後，才到cooler再冷凝；● Carbon absorber：ACT 690浓缩後的气态VOC本体有很浓的臭味，因此设有活性碳吸附器carbon absorber去除部份臭味。#f#图四：ACT 690 Condenser

深圳市托理拆利机电设备有限公司，可为各种工业和运输应用提供优质工艺、往复式、旋转和叶片式压缩机、液环泵和风机，为化工、电力、油气、环保、制药、食品和通用等行业提供泵和流体输送设备。主营NASH佶缔纳士真空泵,纳西姆真空泵，西门子真空泵相关产品销售和服务。售前服务：138-2378-8380

NASH（佶缔纳士）2BV系列液环真空泵

NASH 2BV液环真空泵包括2BV2、2BV5、2BV6三大系列，可广泛应用于塑机、电子、化工、制药、食品等众多行业。一百多年的高标准设计、生产经验，使其卓越的性能完全满足或超出行业应用的要求。

性能范围

吸气量范围：27~500m3/h

极限真空度：33mbarA

产品型号：

2BV2 060-0NC00-2P

2BV2 061-0NC02-2P

2BV2 070-0NC00-2P

2BV2 071-0NC03-7P

2BV5 110-0KC00-7P

2BV5 111-0KC00-7P

2BV5 121-0KC00-7P

2BV5 131-0KC00-7P

2BV5 161-0KC02-7P

特点与技术优势

机泵同轴式直联设计，易于安装，占地空间小，维护简便；

青铜叶轮，可采用不锈钢材质，增强了防腐蚀和抗侵蚀能力，适用于更苛刻的环境；

100%无油设计，利于环境保护；

独特的柔性排气口设计，能达到最佳工作效率；

采用机械密封作为标准配置，有效防止泄露，降低维护成本；

运行平稳，噪声低，无需消音装置；

只有一个转动部件，没有磨损，使用寿命长，无须维护；

具有自吸功能，便于 *** 作。

NASH（佶缔纳士） 2BE系列液环真空泵

Gardner Denver Nash 生产的2BE1系列液环真空泵/压缩机至今已经积累了一百多年经验，可以完全满足苛刻工况的要求，广泛应用在造纸、煤炭、地热、制糖、化工等行业。由于只有一个转动件(叶轮），且没有金属间的直接摩擦，Gardner Denver Nash的平圆盘式设计实际上避免了磨损，即便在多年的连续运转之后也是如此。

吸气量范围：600~22500m3/h

极限真空度：33mbarA

NASH（佶缔纳士）2BE1系列广泛应用在：

■ 冷凝器抽真空

■ 飞灰处理中的脱硫装置

■ 乙炔等易燃易爆的特殊气体压缩

■ 臭氧压缩

■ 纸浆和造纸

■ 气体回收

■ 土壤净化

■ 消毒

■ 减压蒸馏

■ 脱水

■ 过滤

■ 挤压/真空成型

■ 浸渍

■ 萃取

特点：

结构简单，易于维护；

两组进排气口，方便安装，节省空间；可采用不锈钢材质，增强防腐蚀能力；工作液消耗低，降低运行成本；独特的柔性排气阀设计，确保在最佳效率点上工作。NASH 2BE5真空泵

具有可靠，高效，灵活的特点。

NASH真空泵 2BE5 72 、2BE5 67 、2BE5 62 、2BE5 60 、2BE5 52

NASH真空泵 2BE5 50 、2BE5 42 、2BE5 40 、2BE5 32 、2BE5 30

NASH 2BM1 - 磁力驱动真空泵及压缩机

抽气量125至1400立方米/小时真空到33mbar排出压力至2.0bar（）。

2BM1 203 、2BM1 202 、2BM1 153 、2BM1 152 、2BM1 151 、2BM1 103 、2BM1 102

NASH 905系列真空泵

型号：905 L 、905 M 、905 P 、905 R 、905 S 、905 T

NASH AT系列双层真空泵

NASH真空泵 AT3006E 、AT3004E 、AT2006E 、AT2004E 、AT1006E 、AT1004E

MARINE DUTY真空泵

单级MD570 、MD670 、MHC 、MHF系列真空泵

NASH P2620真空泵

TC/ TCM二级真空泵

TC 11 、TC 10 、TC 9 、TC 8 、TC 7 、TC 5 、TCM 3 、TCM 2 、TCM 1

VECTRA GL / XL真空泵

GL 35 、GL 45 、GL 60 、GL 80 、GL 100 、GL 130

XL 45 、XL 60 、XL 80 、XL 100 、XL 130 、XL 150 、XL 250 、XL 350 、XL 500 、XL 750 、XL 950

VECTRA SX泵和压缩机

SX5 、SX10 、SX20 、SX25 、SX30

NASH液环压缩机

2BE5压缩机

2BM1压缩机

2BQ 压缩机

NASH 2BQ1 590压缩机

905 压缩机

GARO 压缩机

NASH HP-9 高压水环压缩机

NASH NAAM 单级压缩机

NASH NAB 双级压缩机

NASH 2BE4 低压水环压缩机

NASH Vectra XL 基本压缩机

NASH Vectra SX 基本压缩机

NASH 2BG 双级压缩机

NASH 2BK 单级压缩机

VECTRA GL和XL压缩机

VECTRA SX泵和压缩机

VECTRA XM-150型环压缩机

NASH Vectra?XM-150压缩机

CLASSIC泵和压缩机

2BE1 - 液环真空泵及压缩机

2BE1 705 、2BE1 703 、2BE1 655 、2BE1 605 、2BE1 603 、2BE1 505 、2BE1 503

2BE1 405 、2BE1 403 、2BE1 355 、2BE1 353 、2BE1 305 、2BE1 303

2BE1 253 、2BE1 252 、2BE1 203 、2BE1 202 、2BE1 153 、2BE1 152 、2BE1 151

2BE1 103 、2BE1 102 、2BE1 101

NASH 2BE3及2BE4压缩机

NASH压缩机 2BE4 72 、2BE4 67 、2BE4 62 、2BE4 60 、2BE4 52 、2BE4 50 、2BE4 42

NASH压缩机 2BE4 40 、2BE4 32 、2BE4 30

2BE3 &2BE4 真空泵

2BV5 MONOBLOCK液环泵：2BV5 110 、2BV5 111 、2BV5 121 、2BV5 131 、2BV5 161

2BV7 MONOBLOCK液环泵：2BV7 060-2 、2BV7 060-3 、2BV7 061-1 、2BV7 070-2 、2BV7 0703 、2BV7 0712 、2BV7 0713

904压缩机

904真空泵

CL真空泵及压缩机

SC压缩机

SC真空泵

2BV2071ONC037P

产品实拍图

产品型号 2BV2071-ONC03-7P

额定功率 3.85 KW

气量 110 M3/h

工作液流量 0.25 M3/h

重量 62 KG

噪音dB 72 dB

产品特点：

1.100%无油设计，利于环境保护

2.运行平稳，噪声可低至62分贝

3.机泵同轴式直联设计，易于安装

4.独特的设计使得设备零维护

5.采用大气喷射器真空可低至10mbar

6.可选材质：整泵不锈钢

7.标准配置：机械密封和不锈钢叶轮

8.2BV系列可配置闭式水冷机组，风冷机组，柜式机组

定制说明

定制电子工厂厂务真空系统（真空泵）

随着电子厂自动化程度越来越高，很多机器都需要真空作为设备的动力。大部分的真空度要求在--0.06MPa --0.08MPa左右。

目前，大部分使用真空发生器，用空压气转换成真空气，转换效率只有50%，非常浪费电费。还增加不少空压机的维护成本。

如果改成使用中央真空系统，就能节约50%的能耗。

真空系统的组成：

由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

客户须知

1.关于产品

美国佶缔纳士工厂生产，按美国行业标准检测出厂

2.关于售后

保修一年

3.关于发货

装箱清单，木架包装运输。

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