半导体机台设备自动化系统是什么意思

半导体机台设备自动化系统是什么意思,第1张

生产三极管的设备可能有MOCVD,光刻机,离子注入,金丝球焊机,封帽机,测试设备等。

这些设备大多是自动化设备,尤其是MOCVD和离子注入。控制部分是PLC+数字电路,非常复杂。其他的设备电路部分常见的是数字电路控制。但也不排除简单的PLC。

自动快速上料,去除静电,Mark检测,外形检测,电性能侧测试,废品回收,自动包装等。半导体测试机是芯片制造必需设备。测试设备贯穿整个半导体制造流程,用于测试半导体的电压、电流等各项参数,以判断芯片有效性。


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