钨是一种具有高传导性的金属元素,在半导体制造中,常被用作金属层间的通孔(Via)和垂直接触的接触孔(Contact)的填充。就目前火热的半导体芯片来说,新型氧化钨薄膜能很好的作为它的扩散阻挡层、粘结层和大型集成电路存储器电极等,进而能显著升高芯片产品的综合质量。
钨,一种金属元素。原子序数74,原子量183.84。钢灰色或银白色,硬度高,熔点高,常温下不受空气侵蚀。主要用途为制造灯丝和高速切削合金钢。
钨青铜是一种含钨的非整比化合物,外貌似铜而具化学惰性。钨青铜通常呈立方晶体或四方晶体。不溶于水,也不溶于除氢氟酸以外所有的酸,但溶于碱性试剂。可用作一氧化碳氧化反应的催化剂和燃料电池中的除气剂。 [1]钨青铜中最常见的是钠钨青铜,它具有金属的光泽,呈现的颜色随 x 值的变化而异,可从金黄色到淡蓝灰色,例如, NaWO3 为金黄色, Na0.67WO3 为绛红色, Na0.5WO3 为紫红色, Na0.2WO3 为蓝色。当 Na∶WO3 比值大于 0.3 时,它的电阻温度系数为正值,极不稳定,具有半金属性质;小于 0.3 时则为负值,是半导体。
所有钨青铜在性质上都极端惰性,具半金属性,有金属光泽和导电性。它们的化学惰性表现在不溶于水和抵抗除氢氟酸以外的一切酸。但它们可将硝酸银从其氨水溶液中还原为金属银,而在碱存在时,它们可被氧氧化为钨(Ⅵ)酸盐。它们的半导体性,可认为其中的一切钨原子都是W(Ⅵ),金属钠的价电子像在金属钠中一样,在钨青铜的晶格中自由运动。锂也可形成钨青铜,但不导电。
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