国内专注于MEMS和芯片制造的企业有哪些？

西人马科技有限公司是一家高新技术企业，公司科研人员硕博士占比超过80%。公司聚焦于MEMS与高端传感器芯片的研发、生产、检测、销售。其MEMS高端传感器芯片研究与加工基地占地70亩，具有6000平方米的超净车间和先进微纳米研究实验室。公司依据AS9100D和ISO13485质量体系为全球客户提供各类MEMS芯片、传感器。公司拥有先进的仪器设备，包含PECVD等离子体淀积系统、电子蒸镀机、电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统等先进生产和检测设备。在MEMS传感器关键技术和生产工艺领域具有很强的竞争力，并利用MEMS芯片技术，纳米、功能陶瓷等新材料，现代信号处理，云计算，以及人工智能等综合技术，主攻通用神经 *** 作系统、机器神经故障诊断系统、智能健康医疗器械等技术的研究。目前西人马所研制的传感器及系统可用于故障诊断、控制、激光雷达、生物芯片等系统的解决方案，并广泛应用于包括能源、航空、轨道交通、精密仪器、工业自动化、物联网等多个领域。

mems公司在MEMS资讯网上有介绍：江苏英特神斯科技有限公司（Intellisense） 、美新半导体(无锡)有限公司（MEMSIC） 、苏州敏芯微电子技术有限公司 、重庆金山科技（集团）有限公司 等等

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