半导体行业用的VDB是什么设备

VDB（Valve Distributing Box），VMB（Valve Manifold Box） 的总箱,主管路到FAB内先接VDB,再分到各各VMB内，也会有些厂叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特别大的气体供应上。你可以理解为空调系统里的分集水器，也就是由总站出来的流体分流输送的装置。大致的供气路劲可以是总站——VDB——VMB——VMP（分盘）——设备用气点。简略回答如上，谢谢。

除威金斯型煤气柜柜本体钢结构之外，主要的设备如下（以2段式气柜为例）：

     柜体主要附属设备：密封装置（橡胶密封膜）；调平装置；放散装置（手动放散系统、自动放散系统）；限位导轮；活塞波形板；T围栏波形板。

                                      调平、放散系统

                                       活塞、T围栏波形板

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