高精度光刻技术再破冰,8座芯片厂完工在即,美国院士预言成真?

高精度光刻技术再破冰,8座芯片厂完工在即,美国院士预言成真?,第1张

老美为了限制华为等高 科技 中企的发展,不惜修改规则、破坏全球芯片产业链的平衡,实施了令全球半导体市场为之侧目的芯片禁令。

作为推动 科技 发展的“粮食”,芯片的重要性不言而喻,经过此次芯片“卡脖子”之痛,我们彻底认识到了搭建一条完善半导体产业链的重要性。

然而,由于此前过度依赖海外进口,导致我们在有些关键材料、技术、设备等多个细分领域都有着较大的短板,比如全球只有ASML能生产的EUV光刻设备,堪称是我们实现高端芯片国产化路上最大的“藩篱”。

EUV光刻机作为半导体产业链中最复杂、最精密的设备之一,每台价值高达1.2亿美元,所含精密零件高达十万个,更重要的是,它糅合了全球很多国家的顶尖技术,比如美国的光源、瑞士的机床、德国的镜头等等。不管是ASML或者是台积电,几乎都不看好我们能突破这个壁垒。

但是要知道,再尖端的技术设备也是人造的,而非神造的。

在这关键时刻,中科院、清北高校等顶尖科研机构挺身而出,主动接过光刻研发的重任,并成立专项攻关小组,从EUV最核心的设备入手,来逐一进行破冰。

功夫不负有心人,在科学家们与 科技 企业的共同努力之下,EUV光刻设备的三项核心技术“双工件台系统、光源、光学镜头”先后被攻克。

在双工件台系统领域,北京华卓精科早在2019年底就实现了国产化,成为了继ASML之后,全球第二家掌握该技术的企业。其生产的双工件台应用领域非常广泛,不仅有 65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描光刻机、KrF步进扫描光刻机;而且,单台系列产品还适用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等

在光源方面,唐传祥教授带领的清华科研团队,通过SSMB工作原理, 探索 出了一种加速离子光源“稳态微聚束”,波长可从太赫兹覆盖到极紫外光波段,而极紫外光正是EUV的核心光源。

而近日,央视报道了“光学镜头”的好消息。

中科院研发出的国内首台高能同步辐射光源设备,已步入安装阶段,且工程量完成了70%以上。这是全球最亮的第四代光源之一,该设备的落地,将为国内企业对于光学镜头的研发提供技术支持与保障。

随着EUV三大核心技术的破冰,国产高精度光刻设备的到来不会太久,毕竟我国拥有着全球最大的制造市场,EUV设备的零件根本不是什么大问题。

当然,只有设备,没有芯片制造产线也是不行的。

好消息是,从去年到现在,我国有8座晶圆厂处于在建状态,预计2022年便可全部完工。这意味着,我们不仅有机会进军高端芯片市场,即便已站稳脚跟的中低端芯片市场,其产能也能迎来喷井式的爆发。

至于老美此前卖给我们的高价芯片,就从此让它烂在美企的仓库里吧。

在芯片禁令之初,美国院士就曾发出忠告Meserve:不卖给中国芯片,只会加速他们的研发脚步,或许三五年时间,他们就能彻底摆脱美国市场,到时候,以出口为主的美芯片就真的无所适从了。

事实也的确如此,在华为等中企受到芯片断供影响的同时,美半导体市场一样损失惨重,国际半导体协会SEMI曾统计过,在不卖给中企芯片的半年时间里,美半导体市场损失了近1100亿,而且还失去了很多的高薪岗位。

如今的“中国芯”势如破竹,美国院士的预言即将成真,而美半导体所遭受的损失必然还将继续,不过,这一切都是它自食其果。

ADZ (ADZ Nagano GmbH)公司是德国的一家著名的工控产品生产公司,主要生产压力变送器和压力开关。而且,ADZ 公司和日本长野公司合作生产电厂用压力开关,其产品在电厂、钢厂等行业得到了广泛应用。

SEMI是国际半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。

SEMI会员创造的技术应用于一些相关行业,如平面显示器和微机电系统(MEMS),持续增加有关的技术领域的创新项目。身为半导体、显示器、MEMS等相关行业唯一真正的全球性代表,SEMI将继续提供宝贵的服务,致力使其成为微电子生态系统协会的优选。

SEMI是Semiconduct or Equipment and Materials International即国际半导体设备和材料协会的简称,创建于1970年,是一个有诸如IBM、TI、FSC、NSC、日立、东芝、松下、西门子、应用材料、东京电子、NIKON、LAM研发、佳能、ASM International、VARIAV、日本真空电子株式会社等半导体器件、计算机与通信设备等生产企业参加的跨国组织,也是为其全球的成员公司提供多种服务的国际贸易协会,在世界上享有盛誉。贴有“semi”标志则表示符合了半导体行业的相关标准


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