半导体应变片的特点

一般的应变片，不管是金属应变片，还是半导体应变片，都是基于材料的压阻效应——应力使电阻发生改变的现象来工作的。（另外，也有采用压电效应来工作的应变片。）半导体应变片的特点：在较小功耗下具有较高的灵敏度和较大的电阻变化。金属应变片的特点：温度稳定性较好，线性度高，应变范围大（可达到4%，而半导体应变片只能达到0.3%），使用方便（可贴敷在弯曲表面上）。

半导体应变片是利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件，又称半导体应变片。压阻效应是半导体晶体材料在某一方向受力产生变形时材料的电阻率发生变化的现象（见压阻式传感器）。半导体应变片需要粘贴在试件上测量试件应变或粘贴在d性敏感元件上间接地感受被测外力。利用不同构形的d性敏感元件可测量各种物体的应力、应变、压力、扭矩、加速度等机械量。半导体应变片与电阻应变片(见电阻应变片相比，具有灵敏系数高（约高 50～100倍）、机械滞后小、体积小、耗电少等优点。P型和N型硅的灵敏系数符号相反，适于接成电桥的相邻两臂测量同一应力。早期的半导体应变片采用机械加工、化学腐蚀等方法制成，称为体型半导体应变片。它的缺点是电阻和灵敏系数的温度系数大、非线性大和分散性大等。这曾限制了它的应用和发展。自70年代以来，随着半导体集成电路工艺的迅速发展，相继出现扩散型、外延型和薄膜型半导体应变片，上述缺点得到一定克服。半导体应变片主要应用于飞机、导d、车辆、船舶、机床、桥梁等各种设备的机械量测量。

---