随着半导体技术的发展,石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如,直拉法把多晶转化成单晶硅;清洗时用的清洗槽;扩散时用的扩散管、刻槽舟;离子注入时用的钟罩等等。
石英在这两个行业中主要用在:1、制备高纯石英坩埚,在多晶硅铸锭和单晶拉制的时候都要用到高纯石英坩埚,这是石英坩埚在光伏行业的最主要用途,切用量很大。 2、在多晶硅还原炉内需要用到高纯石英环。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
随着半导体技术的发展,石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如,直拉法把多晶转化成单晶硅;清洗时用的清洗槽;扩散时用的扩散管、刻槽舟;离子注入时用的钟罩等等。
石英在这两个行业中主要用在:1、制备高纯石英坩埚,在多晶硅铸锭和单晶拉制的时候都要用到高纯石英坩埚,这是石英坩埚在光伏行业的最主要用途,切用量很大。 2、在多晶硅还原炉内需要用到高纯石英环。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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