晶圆减薄时贴的保护膜有什么特点

晶圆减薄时贴的保护膜有什么特点,第1张

晶圆减薄时贴的保护膜一般具有以下特点:

1. 材质透明性好:保护膜应该具有良好的透明性,以便 *** 作人员能够看清楚晶圆表面的情况,控制减薄的精度和质量。

2. 附着力强:保护膜要具有良好的附着力,能够稳定地黏附在晶圆表面,不易脱落或滑动。

3. 不会残留胶水:保护膜需要有良好的去除性能,不会留下胶水或残留物,以确保晶圆表面的完美。

4. 耐热性好:保护膜在晶圆减薄过程中需要承受高温,所以要有良好的耐热性能,不会融化或变形。

5. 厚度均匀:保护膜的厚度应该均匀,在整个晶圆表面都能够提供相同的保护效果,避免出现减薄不均的问题。

6. 不会污染晶圆表面:保护膜需要具有良好的纯净性能,不会污染晶圆表面,以确保晶圆的电性能和机械性能不会受到影响。

封装测试厂从来料(晶圆)开始,经过前道的晶圆表面贴膜(WTP)→晶圆背面研磨(GRD)→晶圆背面抛光(polish)→晶圆背面贴膜(W-M)→晶圆表面去膜(WDP)→晶圆烘烤(WBK)→晶圆切割(SAW)→切割后清洗(DWC)→晶圆切割后检查(PSI)→紫外线照射(U-V)→晶片粘结(DB)→银胶固化(CRG)→引线键合(WB)→引线键合后检查(PBI);在经过后道的塑封(MLD)→塑封后固化(PMC)→正印(PTP)→背印(BMK)→切筋(TRM)→电镀(SDP)→电镀后烘烤(APB)→切筋成型(T-F)→终测(FT1)→引脚检查(LSI)→最终目检(FVI)→最终质量控制(FQC)→烘烤去湿(UBK)→包装(P-K)→出货检查(OQC)→入库(W-H)等工序对芯片进行封装和测试,最终出货给客户


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