半导体常用的钝化层:
第一类钝化膜是与制造器件的单晶硅材料直接接触的。其作用在于控制和稳定半导体表面的电学性质,控制固定正电荷和降低表面复合速度,使器件稳定工作。
第二类钝化膜通常是制作氧化层、金属互连布线上面的,它应是能保护和稳定半导体器件芯片的介质薄膜,需具有隔离并为金属互连和端点金属化提供机械保护作用,它既是杂质离子的壁垒,又使器件表面具有良好的力学性能。
钝化层是钝化的那部分。钝化是使金属表面转化为不易被氧化的状态,而延缓金属的腐蚀速度的方法。
wafer本身不掺杂导电很弱吧。。。需要隔离的地方会挖槽沉积二氧化硅的。。。Jalain(站内联系TA)集成电路做在一个wafer是为了有更好的电特性的一致性吧,在模电中貌似用集成电路的话会比单个元件之间的互联效果好的多,比如电压比较器很少用两个三极管的,做在一个集成电路中控制好了工艺才有较好的工作点。至于导电的问题,在不掺杂的情况下半导体的电阻率还是挺高的,而且集成电路实现功能的时候一般都是PN型之间配合,单个的wafer一般都是同一类型做衬底,然后通过一些工艺按要求往上沉积其他的类型(P+、N等),这样形成了结区,才能有整流或者放大的功能。sanlangustc(站内联系TA)半导体材料导电性介于导体与绝缘体之间,经过掺杂等工艺可以变成导体,以制备各种电子器件,如最基本的PN、MOS管等,形成复杂的具有各种功能的电路,这是使用半导体材料的独特特性,别的材料替代不了。至于器件间的隔离,半导体材料反应可以生成很好的绝缘体材料,如将Si氧化成SiO2,起到绝缘的作用,又或者通过沉积绝缘材料等,所以不用担心整个片子的导通问题。knightshui(站内联系TA)1.wafer的电阻较高,就算有漏电流也很小,可以不考虑。
2.设计者想了很多办法防止器件之间产生意外的较大的寄生漏电流,如隔离等。PANDALCD(站内联系TA)可以根据不同的需要制作很多WELL,在well之间可以用SiO2隔离,所以不会出现你所提到问题的!zaixw(站内联系TA)怕 所以一般的情况下 整块接地 不行就用阱隔离了kingdomzjx(站内联系TA)你的问题是关于集成电路的隔离的。
集成电路中多个器件制造在一个衬底上,如果不隔离是肯定连通了,因此需要做隔离工艺。
大致分为两类,一类为元器件之间自然隔离的;另一类是做隔离工艺实现隔离的,如pn结隔离、介质隔离。
量子阱(Top quantum well)量子阱有着三明治一样的结构,中间是很薄的一层半导体膜,外侧是两个隔离层。用激光朝量子阱闪一下,可以使中间的半导体层里产生电子和带正电的空穴。通常情况下,电子会与空穴结合,放出光子。科学家将量子阱的上层制造得特别薄,厚度不足30埃,这样就可迫使中间层产生的电子与空穴结合时,以变化的电场而不是光子的形式释放能量。电场的作用使邻近的量子点中产生新的电子和空穴,从而令它们结合并放出光子。
图:
http://www.oursci.org/magazine/200404/news/061502.htm
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