半导体芯片中化学过滤器过滤什么气体

在半导体芯片厂，特别是12英寸的晶圆厂，会使用化学过滤器，化学过滤器一般分为三种，除酸性气体（SO42-、F-、CL-、NO3-、CHCOO-、HCOO-等）、除碱性气体（NH3,NMP等）和除有机物（TVOC),祛除的气体不同选择的化学过滤材料也不相同。祛除气体的浓度不同化学过滤器的寿命也不相同。。。。。上海宣拓

高效空气过滤器主要针对过滤0.3μm以下的空气悬浮颗粒, 广泛应用于电子、半导体、精密机械、制药、医院、均经过严格测试。食品等行业中对洁净度要求较高的民用或工业洁净场所的未端过滤。高效空气过滤器一般应用半导体制造工场、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。

高效空气过滤器包括有隔板高效空气过滤器和无隔板高效空气过滤器，有隔板高效空气过滤器包括GK（有隔板高效空气过滤器），GKW（耐高温高效空气过滤器），GKA（耐高湿高效空气过滤器）；无隔板高效空气过滤器包括GKYW（组合式组合式高效空气过滤器），GKYS（无隔板高效空气过滤器），GKYC（液槽无隔板高效空气过滤器），GKYL（超低阻无隔板高效空气过滤器），GKYD（刀架式无隔板高效空气过滤器），GKUL（0.1um超高效空气过滤器）

---