尽管国产光刻机精度只有90nm,非常落后,但还是很有存在的必要!不管是从用户的角度,还是产业的角度,抑或国家的层面,90nm的国产光刻机,都必须存在。国产光刻机制程精度不高,不是取消或者淘汰国产光刻机的理由。如果我们因为国产光刻机落后,就非常进行放弃,把市场拱手相让,必将对相关产业和国家安全造成很大的冲击。对于国产光刻机落后的局面,我们必须抱以更大的耐心和信心。
一、对于低端芯片用户而言,精度90nm的国产光刻机必须存在。
很多人说起芯片制程,言必2nm、5nm、7nm EUV,至于90nm制程工艺,认为根本没有存在的必要。其实,这是一个非常片面的认知。现在的不同的层面,对芯片有着不同的需求。高精度制程的芯片需求,其实只是其中的一块小蛋糕而已。真正的大蛋糕是中低端的芯片,例如90nm制程的芯片。
作为制造强国,我国许多行业对于90nm及以下制程的芯片,有着广泛的需求。电视机、智能家电、功能手机、智能机械设备等,都需要用到精度不高芯片。这些行业的巨量需求,要求国产90nm光刻机,必须存在。唯有这样,才能更好的满足,我国低端芯片用户的需求,不用跑到外国花费更多的钱去进口。
二、对于国内芯片产业链而言,精度90nm的国产光刻机必须存在。
尽管国内的芯片制造工艺,还非常的落后,但也一样是一个巨大的市场,养活了许多芯片从业人员,拉动了很多相关的配套产业。如果真的取消或者淘汰90nm国产光刻机,国内的芯片产业链,将遭受到毁灭性的打击,很有可能毁了整条产业链,让成千上万的从业人员失业。
看看中芯国际的财报,就知道90nm国产光刻机存在的重要性。中芯国际是我国最先进的芯片制造厂,目前已经可以量产14nm制程的芯片,28nm等中精度制程的芯片更是不在话下。但中芯国际的2019的财报显示,它31.16亿美金的营收里面,有一半是90nm及以下制程的生产线贡献的。由此可见,90nm的国产光刻机,还是非常重要的。
三、基于国家极端风险,精度90nm的国产光刻机必须存在。
在国家层面上,光刻机的精度和工艺,肯定是越先进越好。我国肯定希望可以进行进入7nm,甚至更高精度的层次。可惜,现实的情况有种种的困难,让我们国家没有办法短时间内进入芯片制程高精度的层次。在没有办法进入高精度层次的情况之下,保证低精度层次的光刻机是非常必要的。
这最起码不会导致国家无“芯”可用。站在国家层面,从最恶劣的角度出发,我们必须要有这个准备。90nm国产光刻机的存在,最起码可用保证我们有芯片可用,不至于全军覆没。要知道,我们很多军用的芯片,都靠90nm及以下精度的光刻机生产。如果我们放弃了90nm的国产光刻机,我们就会处于更加劣势的地位,完全没有讨价还价的能力。从这个角度出发,90nm光刻机必须要有,还要加大力气去扶持。
影响光刻机精度的因素:光刻机中的一个重要的性能指标指的是每个图形的分辨率。分辨率是衡量分开相邻两个物点的像的能力。按照几何光学理论,光学系统没有像差时,每个物点应该产生一个锐利的点像,但是由于衍射现象的存在,实际的成像结果总是一个有限大小的光斑。如果两个光斑发生了重叠,则二者中心强度极大值的位置很近,就越难以分辨出这两个物点。在先进的半导体集成电路制造中,为获得高集成度器件分辨率很关键。光刻分辨率对任何光学系统都是一个重要的参数,并且对光刻很关键,因为需要在硅片上制造出极小的器件尺寸。硅片上形成图形的实际尺寸就是特征尺寸,最小的特征尺寸即关键尺寸,对于关键尺寸来说,光刻分辨率很重要。
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