山西中聚晶科半导体有限公司是2016-03-18在山西省晋中市注册成立的其他有限责任公司,注册地址位于山西省晋中市山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号。
山西中聚晶科半导体有限公司的统一社会信用代码/注册号是91140700MA0GTH583D,企业法人马铨,目前企业处于开业状态。
山西中聚晶科半导体有限公司的经营范围是:研发、生产、销售蓝宝石晶体;生产、销售蓝宝石晶体原辅材料、仪器仪表、专用设备及零配件;信息功能材料、晶体材料生长、集成电路产品、专用设备的技术研发、技术转让、技术咨询;开发、生产、测试、加工集成电路产品及材料;货物进出口;技术进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)。本省范围内,当前企业的注册资本属于一般。
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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。
半导体有机废气处理办法
采用RTO设备处理
RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。
直接燃烧法处理
有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。
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