半导体工业 会参杂磷 ,那磷是怎麼导电的?

半导体工业 会参杂磷 ,那磷是怎麼导电的?,第1张

磷有三种同素异形体白磷,红磷,黑磷 。其中,白磷、红磷不导电,这是常见的磷的形态,因此一般说磷不导电的 。但是黑磷(不常见)有类似石墨的结构,因此可以导电。黑磷(金属磷):黑色有金属光泽的晶体,在磷的同素异形体中反应活性最弱,在空气中不会点燃。化学结构类似石墨,因此可导电。化学式一般写为P。在半导体中采用的磷为黑磷。

在半导体工艺中,通常采用的是离子注入技术,其中磷原子被加速加速到高速后撞击到硅衬底表面,形成浅层杂质,从而掺杂硅衬底,使其成为n型半导体。虽然在实际过程中磷原子被注入硅衬底,但由于注入的磷原子与硅原子具有相同的化学性质和电子结构,因此磷原子可以在硅晶体中占据硅原子的位置,并成为硅晶体中的掺杂杂质,从而改变硅晶体的导电性质。因此,虽然我们常说的是注入磷离子,但实际上是磷原子与硅原子发生置换反应,从而实现硅晶体的掺杂。


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