半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体用的石英管为什么需要低铝含量,第1张

半导体中,石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下:

1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤,不能有金属离子污染。

2、高温环境可达1000多摄氏度,铝容易硅化,会造成器件结区损伤,容易漏电。

不是,二极管和三极管是用纯硅制作的,然后掺杂一些杂质,如三价的和5价的元素,这样就会出现空穴和非束缚电子。而石英是杂质很多的SiO2,即使拿来制作二极管和三极管,也是只用到里面的硅元素,所以要提纯,越纯越好!!!

石英在这两个行业中主要用在:1、制备高纯石英坩埚,在多晶硅铸锭和单晶拉制的时候都要用到高纯石英坩埚,这是石英坩埚在光伏行业的最主要用途,切用量很大。 2、在多晶硅还原炉内需要用到高纯石英环。


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