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超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。芯片厂的纯水要求sio2,是因为sio2具有良好的抗氧化性,可以有效防止水中的氧化物对芯片的腐蚀,从而保证芯片的质量。此外,sio2还具有良好的抗热性,可以有效防止芯片在高温下的损坏,从而保证芯片的稳定性。另外,sio2还具有良好的抗腐蚀性,可以有效防止芯片在水中的腐蚀,从而保证芯片的安全性。因此,芯片厂的纯水要求sio2,是为了保证芯片的质量、稳定性和安全性。
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