半导体工艺废气如何处理？

√ 楼主您好，根据您提出的问题，下面为您做详细解答：

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

希望此次回答对您有所帮助！

半导体废气处理

废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

随着半导体材料的的不断发展，到上个世纪50年代，我们的制冷器从单纯的实验室研究逐渐走上工程实践进而进入市场，进入21世纪，人们对生活的要求越来越高，空调逐渐走进人们的视线，而半导体制冷空调作为成熟的产品受到人们的热捧，那么哪些厂家的半导体制冷空调比较好呢，下面小编就给大家详细介绍几家半导体制冷空调的生产厂家。

一、杭州转轮除湿设备有限公司

厂家简介：杭州转轮除湿设备有限公司成立于2008年02月01日，注册资金为人民币300万元，其公司紧挨着多条高数公路，交通非常便利，产品销往全国多个省市，该公司的主打产品转轮除湿机更是得到消费者的高度认可。

主营产品：茶叶设备、调温除湿机、恒温恒湿空调机、酒窖专用空调机、除湿加湿一体机、工业除湿机、转轮除湿机、加湿机、家用商用除湿机、高温型除湿机

推荐产品：高标准高精度调温恒湿空调

型号：CFH-S系列

价格：¥32800.00

　　地址：浙江 杭州 拱墅区

　　二、上海全锐电器设备有限公司

厂家简介：上海全锐电器设备有限公司成立于2010年01月19日，是一家集设计、研发、生产、销售以及售后服务于一体的新型机电公司，其主要生产方向为工业空调以及自动化控制装置，其产品畅销全国各地。

主营产品：机柜空调型号、风扇过滤器型号、热交换器型号、全锐风机系列型号、台湾卡固KAKU风机及滤网、机柜文件夹、温度控制器

　　推荐产品：控制柜空调

　　型号：EA300

价格：¥2250.00

地址：上海 金山区

三、佛山市依恳丰机电设备有限公司

　　厂家简介：佛山市依恳丰机电设备有限公司成立于2008年12月24日，是一家专门生产热交换机以及配套设施的企业，其公司先进的生产设备和一流的技术为公司的发展墓定了坚实的基础。

主营产品：热泵钣金、暖风机、冷凝器机组、蒸发器、全铜换热器、净化干盘管、热交换器、换热制冷空调设备

　　推荐产品：加工中央空调

　　型号：各种型号定做

　　价格：¥6800.00

地址：广东 佛山 南海区

以上就是小编为大家推荐的关于在半导体制冷空调方面做的比较好的一些企业代表，他们在生产设备和技术上都是国内比较靠前的，我们在选择这方面产品的时候可以参考小编给大家推荐的这几家，小编还是建议大家在消费的时候先上网查阅相关信息再下订单。

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