半导体机台水阻值检测的作用

半导体机台水阻值检测的作用,第1张

如今,新兴产业的发展进一步证明了半导体测试的重要性。随着通信速度的加快,基带和射频前端都受到了挑战。由于需要支持多种模式,射频前端还将集成功率放大器、低噪声放大器(LNA)、双工器和天线开关等模块,并将它们封装在一个组件中。在设计和生产过程中,检测变得非常重要。只有准确地测量器件的参数,才能优化设计方案,提高产品生产的成功率。

对于半导体检测,虽然需要用于大规模生产、实验室、晶片等环节,但相关环节也比较复杂,但电气性能测试是基本环节,半导体器件或模块在研究开发、设计和生产过程中是必不可少的环节。

在电气性能测试环节中,电流测试方案是源测量单元(SMU)。SMU是一种具有电压输出和测量以及电流输出和测量功能的精密电源仪表。这种电压和电流的控制给你提供了通过欧姆定律计算电阻和功率的灵活性,它可以同时控制和测量电压和电流,主要为消费类电子产品、IC设计和验证以及其他实验室提供电气性能测试。

目前市场上有许多(SMU)厂家可以提供源测量单元,相关产品很多,但测试仪器越贵,测试精度越高,从某种意义上说,要掌握源测量单元(SMU),就必须了解产生误差的原因和减小误差的方法。

测量半导体电阻率的方法很多,按是否与样品接触可以分为两类,即接触式和非接触式。常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探针法、四探针法、多探针阵列、扩展电阻法、霍尔测量、涡流法、微波法、电容耦合C-V测量等。对于体单晶的电阻率测量,生产中应用最普遍的是四探针法;对于半导体晶片的电阻率测量,微波法等非接触式测量方法由于使用方便、不损坏样品,因而应用也越来越多。

希望对您有帮助。

意思就是要用欧姆表去直接测量. 欧姆表就是自身产生一个弱电流, 去测量探针两端的电压, 然后和自身的体电阻比较, 最后给出电阻值. 但是这对于半导体是不准确的, 半导体电阻无法用两根探针测量的主要原因是:

1.接触电阻的影响严重。探针与半导体接触产生一定厚度的耗尽层,耗尽层是高阻的, 另外探针和半导体之间不像与金属之间一样很好的接触, 还会产生一个额外的电阻, 称为扩展电阻,两者都是接触电阻,通常都很大. 半导体的实际电阻相对于它们越小, 测量结果就越不准确.

2.存在少子电注入.

专用方法:四探针法, 两根探针输入测量电流, 另外两根探针测量电压分布.

要是懂电流计, 电压计和电阻计的原理, 就能更明白了.


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