TiN可以做半导体器件的绝缘层吗?

TiN可以做半导体器件的绝缘层吗?,第1张

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金属键型涂层材料(如TiB2、TiC、TiN、VC、WC等)熔点高、脆性低、界面结合强度高、交互作用趋势强、多层匹配性好,具有良好的综合性能,是最普通的涂层材料。共价键型涂层材料(如B4C、SiC、BN、金刚石等)硬度高、热胀系数低、与基体界面结合强度差、稳定性和多层匹配性差。而离子键型材料化学稳定性好、脆性大、热胀系数大、熔点较低、硬度不太高。

在这些涂层材料中,用的最多的是TiC、TiN、Al2O3、金刚石以及复合涂层。

TiC耐磨性好,能有效地提高刀具的抗月牙洼磨损能力,适合于低速切削及磨损严重的场合;TiN涂层具有低的摩擦系数,润滑性能好,能减少切削热和切削力,适合于产生融合和磨损的切削;Al2O3的高温耐磨性、耐热性和抗氧化能力比TiC和TiN好,月牙洼磨损率低,适合于高速、大切削热切削;金刚石涂层硬度和热导性高,摩擦系数很低,适合于有色金属合金的高速切削;而复合涂层综合几种涂层材料的特点,目前以双涂层和三涂层组合居多。


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